[实用新型]一种太阳能硅片扩散装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种太阳能硅片扩散装置。

背景技术

现有的太阳能光伏发电以其无污染；能源质量高；获取能源花费的时间短和供电系统工作可靠等优点赢得了较好的市场前景。在太阳能硅片的生产过程中需要对其进行扩散操作，以便形成P-N结，现有的技术中扩散炉的进气管设置在扩散炉一端，导致气体分布不均匀，最终影响硅片表面方块电阻均匀性。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术中存在的缺陷，提供一种提高硅片表面方块电阻均匀性的硅片扩散装置。

为实现上述目的，本实用新型的技术方案提供了一种太阳能硅片扩散装置，所述太阳能硅片扩散装置包括扩散炉和设置在扩散炉内的石墨舟，环绕所述石墨舟设有若干进出气管，所述进出气管上设有气孔，所述气孔开口朝向石墨舟。通过将进出气管围绕于石墨舟四周，可以提高扩散气体的均匀程度，从而提高硅片表面方块电阻均匀性；同时将进气管和出气管设置于一根管道可以加快进出气的效率。

所述进出气管长度大于石墨舟长度。这样的设计可以进一步保证气体扩散的均匀性。

所述的进出气管设有4根。这样的设计时对方案的进一步优化。

所述气孔间距为0.1-1cm。这样的设计时对方案的进一步优化。

本实用新型的优点和有益效果在于：通过将进出气管围绕于石墨舟四周，可以提高扩散气体的均匀程度，从而提高硅片表面方块电阻均匀性；同时将进气管和出气管设置于一根管道可以加快进出气的效率。

附图说明

图1为本实用新型主视图。

    图中：1、扩散炉；2、石墨舟；3、进出气管；4、气孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步描述。以下实施例仅用于更加清楚地说明本实用新型的技术方案，而不能以此来限制本实用新型的保护范围。

如图1所示，一种太阳能硅片扩散装置，所述太阳能硅片扩散装置包括扩散炉1和设置在扩散炉1内的石墨舟2，环绕所述石墨舟2设有若干进出气管3，所述进出气管3上设有气孔4，所述气孔4开口朝向石墨舟2。

所述进出气管3长度大于石墨舟2长度。

所述的进出气管3设有4根。

所述气孔4间距为0.1-1cm。

以上所述仅是本实用新型的优选实施方式，应当指出，对于本技术领域的普通技术人员来说，在不脱离本实用新型技术原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。