[实用新型]一种激光光束垂直度的检测装置有效
| 申请号： | 201320247077.X | 申请日： | 2013-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN203286992U | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 任胜伟;张宇明;张志平;吴萍;王珍媛;张记晨;池峰 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G01B11/26 | 分类号： | G01B11/26 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 激光 光束 垂直 检测 装置 | ||
1.一种激光光束垂直度的检测装置，其特征在于，包括：依次设置的图像传感器、凸透镜、第一快门、第二快门、分光镜、角锥棱镜和位于所述分光镜一侧的平面测量镜；其中，
所述分光镜对一测量光束进行分光，将所述测量光束分成第一透射光和第一反射光；
所述平面测量镜反射由所述分光镜分出的第一透射光；
所述分光镜反射由所述平面测量镜反射的第一透射光；
所述角锥棱镜反射由所述分光镜反射的第一透射光；
所述分光镜透射由所述角锥棱镜反射的第一透射光；
所述第一反射光和由所述分光镜透射的第一透射光平行且同向地分别经过所述第一快门和第二快门；
所述凸透镜聚焦通过所述第一快门和第二快门的第一反射光和由所述分光镜透射的第一透射光，以在所述图像传感器上形成两像点；及
所述图像传感器通过所述第一快门和第二快门的控制来观测所述两像点以获得所述测量光束对所述平面测量镜的垂直度。
2.根据权利要求1所述的激光光束垂直度的检测装置，其特征在于，所述分光镜是50%的分光镜。
3.根据权利要求1所述的激光光束垂直度的检测装置，其特征在于，所述图像传感器包括电荷耦合器件图像传感器或CMOS影像传感器。
4.一种激光光束垂直度的检测装置，其特征在于，包括：依次设置的角锥棱镜、分光镜、第一快门、第二快门、凸透镜、图像传感器和位于所述分光镜一侧的平面测量镜；其中，
所述分光镜对一测量光束进行分光，将所述测量光束分成第二透射光和第二反射光；
所述平面测量镜反射由所述分光镜分出的第二透射光；
所述分光镜反射由所述平面测量镜反射的第二透射光；
所述角锥棱镜反射由所述分光镜分出的第二反射光；
所述分光镜透射由所述角锥棱镜反射的第二反射光；
由所述分光镜反射的第二透射光和由分光镜透射的第二反射光平行且同向地分别经过所述第一快门和第二快门；
所述凸透镜聚焦通过所述第一快门和第二快门的由所述分光镜反射的第二透射光和由分光镜透射的第二反射光，以在所述图像传感器上形成两像点；及
所述图像传感器通过所述第一快门和第二快门的控制来观测所述两像点以获得所述测量光束对所述平面测量镜的垂直度。
5.根据权利要求4所述的激光光束垂直度的检测装置，其特征在于，所述分光镜是50%的分光镜。
6.根据权利要求5所述的激光光束垂直度的检测装置，其特征在于，所述图像传感器包括电荷耦合器件图像传感器或CMOS影像传感器。
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