[实用新型]一种水冷式测温规管机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及真空镀膜设备领域，特别涉及一种可适用于真空镀膜机测温或测真空度用的水冷式测温规管机构。

背景技术

测温规管机构是用于真空设备测温和测真空度的常用机构，其结构一般包括相连接的规管座和水冷固定座，其中规管座为一体式结构，规管座的内径固定不变，因此，同一规格的测温规管机构只能适用于一种规格的发热管或测温热电偶的使用，其使用范围较为局限，当发热管或测温热电偶的规格发生变化时，必须更换整个测温规管机构才能使其相配，这使得设备的成本较高，不利于生产成本的控制。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种可适用于多种规格的发热管或测温热电偶使用的水冷式测温规管机构。

本实用新型的技术方案为：一种水冷式测温规管机构，包括规管座和水冷固定座，规管座设于水冷固定座的一端，规管座和水冷固定座分别设于待冷却件的外周；规管座包括规管盖、规管圈和规管螺母，规管盖和规管圈相连接且分别套于待冷却件外周，规管螺母设于规管盖和规管圈外周。

所述规管圈的轴向截面为中空的T形结构，规管圈的下部嵌于水冷固定座内，规管圈的顶面与规管盖的底面相接；规管盖的轴向截面为中空的倒T形结构；规管螺母的顶部嵌于规管盖上，规管螺母的下部与水冷固定座的外周螺纹连接。

所述规管圈和规管盖的中空部分分别为圆柱形，圆柱形的直径与待冷却件外径相等。

所述规管圈顶面与规管盖底面的相接处设有密封圈。

所述水冷固定座的外周分别设有进水口和出水口。

所述规管座为测温规管座时，待冷却件相应为测温热电偶。

所述规管座为水冷规管座时，待冷却件相应为发热管的密封冷端。

本水冷式测温规管机构制造时，规管座中规管圈和规管盖的圆柱形直径可设计成多种不同尺寸并进行批量生产，一个规管螺母与多个不同规格的规管圈和规管盖配合。水冷式测温规管机构使用时，根据待冷却件（发热管或测温热电偶）的直径，选择相应规格的规管圈和规管盖，配合规管螺母，即可组成规管座；水冷固定座的内径一般大于待冷却件或测温热电偶，所以当更换不同规格的发热管或测温热电偶时，只要更换规管圈和规管盖即可。

本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：

本水冷式测温规管机构将规管座设为多个部件组成的组合式结构，通过改变其中规管圈和规管座的内径，使规管座和水冷固定座可配合多种规格的待冷却件（发热管或测温热电偶）的使用，有效扩大水冷式测温规管机构的通用性，水冷式测温规管机构可适用于和等规格的发热管或测温热电偶的使用。另外，本水冷式测温规管机构使用时，当更换不同规格的发热管或测温热电偶时，只要更换规管圈和规管盖即可，可有效降低设备成本。

附图说明

图1为本水冷式测温规管机构的结构示意图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例

本实施例一种水冷式测温规管机构，其结构如图1所示，包括规管座和水冷固定座1，规管座设于水冷固定座的一端，规管座和水冷固定座分别设于待冷却件2的外周；规管座包括规管盖3、规管圈4和规管螺母5，规管盖和规管圈相连接且分别套于待冷却件外周，规管螺母设于规管盖和规管圈外周。

如图1所示，规管圈的轴向截面为中空的T形结构，规管圈的下部嵌于水冷固定座内，规管圈的顶面与规管盖的底面相接；规管盖的轴向截面为中空的倒T形结构；规管螺母的顶部嵌于规管盖上，规管螺母的下部与水冷固定座的外周螺纹连接。

规管圈和规管盖的中空部分分别为圆柱形，圆柱形的直径与待冷却件外径相等。

规管圈顶面与规管盖底面的相接处设有密封圈6。

水冷固定座1的外周分别设有进水口7和出水口8。

规管座为测温规管座时，待冷却件相应为测温热电偶。

规管座为水冷规管座时，待冷却件相应为发热管的密封冷端。

本水冷式测温规管机构制造时，规管座中规管圈4和规管盖3的圆柱形直径可设计成多种不同尺寸并进行批量生产，一个规管螺母5与多个不同规格的规管圈和规管盖配合。水冷式测温规管机构使用时，根据待冷却件（发热管或测温热电偶）的直径，选择相应规格的规管圈和规管盖，配合规管螺母，即可组成规管座；水冷固定座的内径一般大于发热管或测温热电偶，所以当更换不同规格的发热管或测温热电偶时，只要更换规管圈和规管盖即可。

如上所述，便可较好地实现本实用新型，上述实施例仅为本实用新型的较佳实施例，并非用来限定本实用新型的实施范围；即凡依本实用新型内容所作的均等变化与修饰，都为本实用新型权利要求所要求保护的范围所涵盖。