[实用新型]带独立真空锁的真空镀膜装置

权利要求书

1.带独立真空锁的真空镀膜装置，其特征在于，包括多个呈直线连续式排列的多个真空室，相邻两个真空室之间设置独立结构的真空锁，真空锁两侧分别与相应的真空室密封连接。

2.根据权利要求1所述带独立真空锁的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空锁包括驱动气缸、阀体、阀芯和下清洁盖板，阀体为中空的长方体结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯设于阀体内部，驱动气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯顶部固定连接，下清洁盖板设于阀体底部；阀芯为四棱柱结构或三棱柱结构。

3.根据权利要求1所述带独立真空锁的真空镀膜装置，其特征在于，所述真空锁包括驱动气缸、阀体和阀芯组件，阀体为中空的长方体箱式结构，阀体的左右两侧壁分别与位于其两侧的真空室固定连接，阀体的左右两侧壁上分别开有阀体通孔，阀体通孔与位于阀体两侧的真空室内的工件通孔相通，阀芯组件设于阀体的中部空间内，驱动气缸末端穿过阀体顶部并与阀芯组件连接；阀芯组件包括对称设置的两个活动板，两个活动板之间设置活动铰并通过活动铰与驱动气缸末端连接，两个活动板的底部分别设有导轮。

4.根据权利要求1所述带独立真空锁的真空镀膜装置，其特征在于，所述多个真空室包括依次连接的进片室、多个镀膜室和出片室，进片室与镀膜室之间、相邻两个镀膜室之间以及镀膜室与出片室之间分别设置真空锁，各真空锁结构相同。

5.根据权利要求1所述带独立真空锁的真空镀膜装置，其特征在于，所述多个真空室包括依次连接的进片室、进片过渡室、进片缓冲室、多个镀膜室、出片缓冲室、出片过渡室和出片室，进片室与进片过渡室之间、进片过渡室与进片缓冲室之间、相邻两个镀膜室之间、出片缓冲室与出片过渡室之间以及出片过渡室与出片室之间分别设置真空锁，各真空锁结构相同。