[实用新型]一种用于室温探测的多孔硅氨敏传感器元件有效
| 申请号： | 201320255948.2 | 申请日： | 2013-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN203365372U | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 胡明;李明达;曾鹏;马双云;闫文君 | 申请（专利权）人： | 天津大学 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26 |
| 代理公司： | 天津市北洋有限责任专利代理事务所 12201 | 代理人： | 张宏祥 |
| 地址： | 300072*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 室温 探测 多孔 硅氨敏 传感器 元件 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于室温探测的多孔硅氨敏传感器元件，包括硅基片衬底和电极，其特征在于，所述硅基片衬底(1)为n型单晶硅基片，硅基片衬底(1)的上面设置有多孔硅层(2)，多孔硅层(2)上表面设置有铂电极正极(3)和铂电极负极(4)。
2.根据权利要求1的一种用于室温探测的多孔硅氨敏传感器元件，其特征在于，所述硅基片衬底(1)的尺寸为2.4cm×0.9cm。
3.根据权利要求1的一种用于室温探测的多孔硅氨敏传感器元件，其特征在于，所述硅基片衬底(1)的平均孔径为170nm，厚度为68μm。
4.根据权利要求1的一种用于室温探测的多孔硅氨敏传感器元件，其特征在于，所述铂电极正极(3)和铂电极负极(4)为0.2cm×0.2cm的方形铂电极，电极厚度为80nm，电极间距为8mm。
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