[实用新型]叠层薄膜背面钝化的太阳能电池

权利要求书

1.一种叠层薄膜背面钝化的太阳能电池，其特征在于，它包括：

一P型晶体硅衬底（1），其具有一正面和一背面；

一正面钝化层（2），沉积在P型晶体硅衬底（1）的正面上；

一正面电极层（3），位于正面钝化层（2）的上表面上；

一氢化非晶硅层（4），沉积在P型晶体硅衬底（1）的背面上；

一具有负的固定电荷的金属氧化物层（5），沉积在氢化非晶硅层（4）的下表面上；

一背面电极层（6），位于金属氧化物层（5）的下表面上；

一背面电场层（7），位于背面电极层（6）的下表面上。

2.根据权利要求1所述的叠层薄膜背面钝化的太阳能电池，其特征在于：所述的正面钝化层（2）为氮化硅薄膜。

3.根据权利要求1所述的叠层薄膜背面钝化的太阳能电池，其特征在于：所述的正面电极层（3）为银栅极。

4.根据权利要求1所述的叠层薄膜背面钝化的太阳能电池，其特征在于：所述的具有负的固定电荷的金属氧化物层（5）为三氧化二铝薄膜。

5.根据权利要求1所述的叠层薄膜背面钝化的太阳能电池，其特征在于：所述的氢化非晶硅层（4）的厚度范围为5纳米~30纳米。

6.根据权利要求1所述的叠层薄膜背面钝化的太阳能电池，其特征在于：所述的具有负的固定电荷的金属氧化物层（5）的厚度范围为5纳米~50纳米。