[实用新型]一种改进的碳纤维石墨埚有效
申请号: | 201320264622.6 | 申请日: | 2013-05-15 |
公开(公告)号: | CN203346514U | 公开(公告)日: | 2013-12-18 |
发明(设计)人: | 李广哲;吴双华;赵聚来;韩佳 | 申请(专利权)人: | 宁晋晶兴电子材料有限公司 |
主分类号: | C30B29/06 | 分类号: | C30B29/06;C30B35/00 |
代理公司: | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人: | 王文庆 |
地址: | 055550 河北省邢台*** | 国省代码: | 河北;13 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 改进 碳纤维 石墨 | ||
技术领域
本实用新型涉及单晶炉内石墨埚领域,尤其是一种改进的碳纤维石墨埚。
背景技术
单晶硅生产行业,由于原料从固体转化为硅液的过程温度高达1400度以上,随之单晶炉内存在剧烈的物理和化学反应。漏硅事故防不胜防,并且由此造成的后果不堪设想。石墨埚邦或简单CC埚邦已不能满足生产的需要,埚邦的使用价值不再仅仅是支撑稳固石英埚和原料,怎么预防和减少事故的严重影响,显得更为重要,原有的石墨埚邦为四瓣埚邦拼凑起来对石英埚起稳定支撑作用,但没有做到预防漏硅的目的,而一般的碳纤维埚邦同样也没能有效对硅液进行阻挡外泄。因为埚邦与埚底连接处为底部连接,硅液泄露后通过缝隙泄露无遗,损失惨重。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供一种便于拆取且克服漏硅问题的改进的碳纤维石墨埚。
为了完成上述目的,本实用新型采用的技术方案是:
一种改进的碳纤维石墨埚,包括碳纤维埚邦和石墨埚底,埚底为弧形埚底,所述的埚邦包括上埚邦和下埚邦,上埚邦和下埚邦互相紧密扣合,下埚邦和埚底固定为一体结构,下埚邦和埚底组合成石墨与碳纤维的层状结构,埚底在其和埚邦的结合处渐变为薄片状。
所述的埚底的内壁弧度为120°,埚底的外壁弧度为80°。
所述的上埚邦为圆筒形碳纤维埚邦,所述的下埚邦为底部沿石墨埚底收缩且不封口的筒形碳纤维埚邦。
所述的上埚邦和下埚邦的结合处互相凹凸配合。
本实用新型的有益效果是:将埚邦设为上下紧密结合的两部分,并且将下埚邦与埚底固定为一体结构,有效的克服了漏硅的问题,而且便于对石墨锅进行拆取。
附图说明
图1是本实用新型的结构示意图。
图中,1、上埚邦,2、下埚邦,3、埚底。
具体实施方式
本实用新型为一种改进的碳纤维石墨埚,将埚邦设为上下紧密结合的两部分,并且将下埚邦与埚底固定为一体结构,有效的克服了漏硅的问题,而且便于对石墨锅进行拆取。
下面结合附图对本实用新型做进一步说明。
具体实施例,如图1所示,一种改进的碳纤维石墨埚,包括碳纤维埚邦和石墨埚底3,埚底3为弧形埚底,所述埚底3的内壁弧度为120°,埚底3的外壁弧度为80°,所述的埚邦包括上埚邦1和下埚邦2,上埚邦1和下埚邦2互相紧密扣合,上埚邦1和下埚邦2的结合处互相凹凸配合,下埚邦2和埚底3固定为一体结构使单晶硅原材料不会漏出,下埚邦2和埚底3组合成石墨与碳纤维的层状结构,埚底3在其和埚邦的结合处渐变为薄片状,所述的上埚邦1为圆筒形碳纤维埚邦,所述的下埚邦2为底部沿石墨埚底3收缩且不封口的筒形碳纤维埚邦。由于将埚邦设为上下紧密结合的两部分,并且将下埚邦与埚底固定为一体结构,有效的克服了漏硅的问题,便于对石墨锅进行拆取。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于宁晋晶兴电子材料有限公司,未经宁晋晶兴电子材料有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服】
本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320264622.6/2.html,转载请声明来源钻瓜专利网。