[实用新型]一种基于无框架CSP封装背面植球塑封封装件有效
申请号: | 201320267708.4 | 申请日: | 2013-05-16 |
公开(公告)号: | CN203589000U | 公开(公告)日: | 2014-05-07 |
发明(设计)人: | 马利;郭小伟;朱文辉;钟环清;谌世广 | 申请(专利权)人: | 华天科技(西安)有限公司 |
主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L23/31 |
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地址: | 710018 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 基于 框架 csp 封装 背面 塑封 | ||
技术领域
本实用新型属于集成电路封装技术领域,具体涉及一种基于无框架CSP封装背面植球塑封封装件。
背景技术
CSP(Chip Scale Package)封装,是芯片级封装的意思。CSP封装最新一代的内存芯片封装技术,其技术性能又有了新的提升。与BGA封装相比,同等空间下CSP封装可以将存储容量提高三倍。
CSP产品的主要特点:封装体尺寸小。CSP封装内存不但体积小,同时也更薄,大大提高了内存芯片在长时间运行后的可靠性,线路阻抗显著减小,芯片速度也随之得到大幅度提高。CSP封装内存芯片的中心引脚形式有效地缩短了信号的传导距离,其衰减随之减少,芯片的抗干扰、抗噪性能也能得到大幅提升,这也使得CSP的存取时间比有极大提高。CSP是最先进的集成电路封装形式,它具有体积小,输入/输出端数可以很多,电性能好,热性能好,体积小重量轻等特点。
但现有技术存在Bump脱落或Bump过小,影响产品的封装可靠性的问题。
实用新型内容
为了解决上述现有技术存在的问题,本实用新型提供了一种基于无框架CSP封装背面植球塑封封装件,其增加产品背面植球工艺及二次塑封工艺,使表面贴装引脚由原来的Bump转换成锡球,增加外露引脚大小,且第二次塑封的塑封料可以与第一次塑封的塑封料在Bump引脚及锡球之间形成更加有效的防拖拉结构,增强引脚牢固性,使引脚不受外界环境影响,直接提高产品的封装可靠性,并在一定程度上降低成本。
一种基于无框架CSP封装背面植球塑封封装件主要由一次塑封体、二次塑封体、键合线、Bump引脚、芯片、铜板、锡球、粘片胶组成。所述芯片与铜板通过粘片胶相连,铜板植有Bump引脚,键合线直接从芯片打到Bump引脚上。一次塑封体和二次塑封体包围了粘片胶、芯片、Bump引脚、键合线、锡球,并构成了电路的整体,塑封体对芯片、Bump引脚、键合线和锡球起到了支撑和保护作用,芯片、键合线、Bump引脚和锡球构成了电路的电源和信号通道。
一种基于无框架CSP封装背面植球塑封封装件的工艺流程如下:晶圆减薄→划片→上芯(粘片)→压焊植球→压焊→一次塑封→铜板背面蚀刻→锡膏印刷、回流焊→背面贴膜→二次塑封→打印→产品分离→检验→包装→入库。
附图说明
图1铜板剖面图;
图2 上芯后产品剖面图;
图3 压焊植Bump引脚剖面图;
图4 压焊键合后产品剖面图;
图5 一次塑封后产品剖面图;
图6 框架背面蚀刻后产品剖面图;
图7 刷锡膏回流焊后产品剖面图;
图8 背面贴膜后产品剖面图;
图9 二次塑封后产品剖面图;
图10产品成品剖面。
图中,1为铜板,2为粘片胶,3为芯片,4为Bump引脚,5为键合线,6为一次塑封体、7为锡球,8为胶膜,9为二次塑封体。
具体实施方式
下面结合附图对本实用新型做进一步的说明。
本实用新型主要适用于单芯片封装件。
如图10所示,一种基于无框架CSP封装背面植球塑封封装件主要由一次塑封体6、二次塑封体9、键合线5、Bump引脚4、芯片3、铜板1、锡球7、粘片胶2组成。所述芯片3与铜板1通过粘片胶2相连,铜板1植有Bump引脚4,键合线5直接从芯片3打到Bump引脚4上。一次塑封体6和二次塑封体9包围了粘片胶2、芯片3、Bump引脚4、键合线5、锡球7,并构成了电路的整体,塑封体对芯片3、Bump引脚4、键合线5和锡球7起到了支撑和保护作用,芯片3、键合线4、Bump引脚5和锡球7构成了电路的电源和信号通道。
一种基于无框架CSP封装背面植球塑封封装件的工艺流程如下:晶圆减薄→划片→上芯(粘片)→压焊植球→压焊→一次塑封→铜板背面蚀刻→锡膏印刷、回流焊→背面贴膜→二次塑封→打印→产品分离→检验→包装→入库。
如图1到图10所示,一种基于无框架CSP封装背面植球塑封封装件的制作工艺,主要按照以下步骤进行:
1、晶圆减薄:减薄厚度50μm~200μm,粗糙度Ra 0.10mm~0.05mm;
2、划片:150μm以上晶圆同普通QFN划片工艺,但厚度在150μm以下晶圆,使用双刀划片机及其工艺;
3、上芯(粘片):采用粘片胶2上芯;
4、压焊:先使用粗线径键合丝在铜板1上植入Bump作为引脚,再使用常规键合丝在芯片3与Bump引脚4之间键合连接;
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