[实用新型]CIS晶圆成测机

权利要求书

1.一种CIS晶圆成测机，包括底座和光源装置，所述光源装置安装在所述底座上，所述光源装置包括镜头安装板，在所述镜头安装板上设有多个镜头安装孔，在所述每个镜头安装孔内设置一个镜头，其特征在于：在所述镜头安装板的下方设置光源安装板，在所述光源安装板内设有多个光源板，所述多个光源板与所述多个镜头安装孔一一对应。

2.根据权利要求1所述的CIS晶圆成测机，其特征在于：在每个光源板与镜头安装孔之间设置均光片。

3.根据权利要求1所述的CIS晶圆成测机，其特征在于：所述光源装置通过两组位移方向相互垂直的滑动平台设置在所述底座上。

4.根据权利要求3所述的CIS晶圆成测机，其特征在于：所述每组滑动平台包括滑动滑轨和滑槽，并在滑轨或滑槽上设置锁紧部件。

5.根据权利要求3或4所述的CIS晶圆成测机，其特征在于：所述滑动平台通过调节部件调节其位移，所述调节部件为手动或电动调节部件。

6.根据权利要求1至4中任一项所述的CIS晶圆成测机，其特征在于：所述底座和光源装置之间还设有高度调节机构，所述高度调节机构包括设置在所述底座内的电机和设置在所述光源装置下方的顶杆，所述高度调节机构将电机的旋转运动转化为顶杆的直线运动对光源装置的高度进行调节。