[实用新型]封闭式热系统用液相掺杂装置有效
| 申请号： | 201320275045.0 | 申请日： | 2013-05-20 |
| 公开（公告）号： | CN203307476U | 公开（公告）日： | 2013-11-27 |
| 发明（设计）人： | 令狐铁兵;高林育;张明亮;仝泉 | 申请（专利权）人： | 洛阳单晶硅有限责任公司 |
| 主分类号： | C30B15/04 | 分类号： | C30B15/04 |
| 代理公司： | 洛阳明律专利代理事务所 41118 | 代理人： | 卢洪方 |
| 地址： | 471009 河*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 封闭式 系统 用液相 掺杂 装置 | ||
【权利要求书】：
1.封闭式热系统用液相掺杂装置，其特征是：所述的封闭式热系统用液相掺杂装置为一体式结构设计，采用高纯石英材料制做，主要由上部挂件（1）、中部空腔（2）、石英罩（8）构成；其中，中部空腔（2）上端的上部挂件（1）与单晶炉的上轴连接，中部空腔（2）内设置有倒立状细管通道（3），中部空腔（2）的下端设置有带均匀刻槽（6）的锥形面（7），底部设有一个石英罩（8）。
2.根据权利要求1所述的封闭式热系统用液相掺杂装置，其特征是：中部空腔（2）下端锥形面（7）的倾斜角角度为30℃。
3.根据权利要求1所述的封闭式热系统用液相掺杂装置，其特征是：锥形面（7）上均匀刻槽的宽度为0.8~1mm。
4.根据权利要求1所述的封闭式热系统用液相掺杂装置，其特征是：细管通道（3）与下端锥形面（7）上与均匀刻槽（6）相接处开有狭窄缝隙（5）。
5.根据权利要求1所述的封闭式热系统用液相掺杂装置，其特征是：石英罩（8）的外径尺寸小于热屏内径尺寸。
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