[实用新型]一种硅片脱胶槽有效

专利信息
申请号: 201320275700.2 申请日: 2013-05-20
公开(公告)号: CN203325848U 公开(公告)日: 2013-12-04
发明(设计)人: 黄雄华 申请(专利权)人: 嘉兴博科精密机械有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L31/18
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地址: 314000 浙江省嘉兴市*** 国省代码: 浙江;33
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摘要:
搜索关键词: 一种 硅片 脱胶
【说明书】:

技术领域

本实用新型属于太阳能光伏电池技术领域,涉及一种硅片脱胶槽。

背景技术

硅片表面的洁净度是影响硅片合格率和电池转换效率的关键因素。为获得洁净度高的硅片,往往硅片在经过线切割后需经过脱胶清洗和精细清洗两个部分,而作为第一道清洗工序的脱胶清洗虽然没有切割工艺要求那么高,但也是获得洁净片的重要工序,其清洗过程涉及到物理、化学、超声等多种学科。

硅片脱胶(预清洗)主要分为两个部分,首先是通过物理方法,诸如喷淋清洗、超声清洗、溢流清洗等,先将硅片表面附着的金属粉末、硅粉、碳化硅、切割悬浮液等杂质去除,然后对硅片进行脱胶处理,脱胶时所需的液体温度根据所使用的胶水来定,其原理是胶水在一定的温度范围内会软化,硅片自动从晶拖上脱落,同时在热水中加入乳酸或者柠檬酸可将胶水软化的时间缩短,同时可以对硅片表面的损伤层进行粗抛,也防止了硅片在高温情况下发生氧化。

现有技术中硅片脱胶过程是将切片完成并清洗后的硅片放置于脱胶槽内浸泡,浸泡完成后放入载片盒中运走,然而刚完成脱胶从脱胶槽内取出的硅片上往往残留有较多的脱胶液,这部分液体残留一方面带来了浪费,另一方面容易引起污染,同时还会使工作环境不整洁。

发明内容

本实用新型的目的是针对现有的技术存在上述问题,提出了一种可收集硅片上残留脱胶液的硅片脱胶槽。

本实用新型的目的可通过下列技术方案来实现:一种硅片脱胶槽,包括支架和设置于支架上呈方形的本体,其特征在于,所述的本体内设有隔板,所述隔板将本体分为工作槽和存储槽。

在工作槽内进行脱胶处理后,脱胶完成的硅片防止于载片盒内,载片盒可直接放置于存储槽内进行沥水处理,一方面使得硅片沥干残留的脱胶液,另一方面可收集残留的脱胶液,防止污染的同时还可对脱胶液进行回收利用。

在上述的硅片脱胶槽中,所述的存储槽内设有支承板。为防止沥处的脱胶液过多,在存储槽内壁设置支承板,载片盒可放置于该支承板上进行沥水。

在上述的硅片脱胶槽中,所述的工作槽底部设有第一导流管,所述的第一导流管上设有用于开启和关闭导流管的第一阀门。脱胶槽内处理了一定量硅片脱胶后需要更换脱胶液,通过该阀门可方便排除作废的脱胶液。

在上述的硅片脱胶槽中,所述的存储槽底部设有第二导流管,所述的第二导流管上设有用于开启和关闭导流管的第二阀门。存储槽内积累了一定的脱胶液后可通过该阀门进行收集处理。

在上述的硅片脱胶槽中,所述的存储槽内部设有若干个加热管。为保持脱胶液的温度始终处于胶体最佳脱离温度,通过加热管可对冷却的加热管进行加热,保证脱胶液的温度。

与现有技术相比,本硅片脱胶槽由工作槽和存储槽组成,在完成脱胶工作后,可直接将硅片放置于载片盒内,载片盒放置于支承板上对残留的脱胶液进行收集,一方面提高硅片纯净度,另一方面可收集残留脱胶液,同时还可防止污染。

附图说明

图1是本硅片脱胶槽的剖视结构示意图;

图2是本硅片脱胶槽的立体结构示意图。

图中,1、支架;2、本体;3、隔板;4、工作槽;41、第一导流管;42、第一阀门;5、存储槽;、51、支承板;52、第二导流管;53、第二阀门;6、加热管。

具体实施方式

以下是本实用新型的具体实施例并结合附图,对本实用新型的技术方案作进一步的描述,但本实用新型并不限于这些实施例。

如图1和图2所示,本硅片脱胶槽包括支架1和设置于支架1上呈方形的本体2,本体2内设有隔板3,隔板3将本体2分为工作槽4和存储槽5,存储槽5内设有支承板51。工作槽4底部设有第一导流管41,第一导流管41上设有用于开启和关闭导流管的第一阀门42,存储槽5底部设有第二导流管52,第二导流管52上设有用于开启和关闭导流管的第二阀门53。存储槽5内部设有三个加热管6,用于对槽内脱胶液进行加热。

本脱胶槽使用时,在工作槽4内注入定量的脱胶液,将胶合在一起的晶托与晶片放入脱胶液内,进行脱胶处理,待处理完成后,取出硅片,放入载片盒内,载片盒放置于存储槽5内的支承板51上进行沥水处理,一方面沥干硅片上的水分保证硅片的清洁度,另一方面可对脱胶液进行回收处理,同时还可防止环境污染。当存储槽5内的脱胶液达到一定高度后,即可通过开启第二阀门53对脱胶液进行回收处理。工作槽4内的脱胶液经过多次使用后,需要更换脱胶液时,可通过开启第一阀门42,收集废液。

本文中所描述的具体实施例仅仅是对本实用新型精神作举例说明。本实用新型所属技术领域的技术人员可以对所描述的具体实施例做各种各样的修改或补充或采用类似的方式替代,但并不会偏离本实用新型的精神或者超越所附权利要求书所定义的范围。

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