[实用新型]基板的翻转设备

权利要求书

1.一种基板的翻转设备，其特征在于包括：

一设备主体，具有立向延伸的一主架体，该主架体底部设置有一着置部；

一笼状架体，包括由纵、横向间隔交错排列的框条所构成中空笼状型态，该笼状架体的一侧向形成有开放端，且该笼状架体内设置有呈上、下间隔排列的至少两组承载构件，基板由笼状架体的开放端横向置入，令各基板承靠限位于每一组承载构件之间而呈上、下间隔排列状态；

一升降输送单元，设置于该设备主体预定位置处，能载送笼状架体并沿着主架体作上升或下降动作；

一夹持翻转机构，设置于主架体一预定高度位置处，当升降输送单元载送笼状架体上升至预定高度时，夹持翻转机构夹持并带动笼状架体翻转一角度，笼状架体内的基板呈立置状态后导送至后续加工流程处；在笼状架体进行翻转的过程中，该升降输送单元先下降至一高度位置，待翻转动作完成再度上升承接笼状架体。

2.根据权利要求1所述的基板的翻转设备，其特征在于所述加工流程包括进行薄化、涂布、清洗或蚀刻至少其中一种加工流程。

3.根据权利要求1或2所述的基板的翻转设备，其特征在于所述翻转设备分别设置于基板加工流程的前置及后置流程处，进而区分为第一组及第二组翻转设备，其中该第一组翻转设备能将待加工的基板翻转呈立置状态后导送至加工流程处，而该第二组翻转设备接收加工完成的基板并进行翻转动作而使基板呈横置状态，令作业人员能轻易的将加工完成的基板取出，藉此翻转设备的配置型态，能达到置入基板、进行加工、取收基板的一贯化流程作业。

4.根据权利要求1或2所述的基板的翻转设备，其特征在于所述夹持翻转机构包括一驱动源以及连接于该驱动源一端的一旋转座，其中该旋转座呈板体型态，且于该旋转座四边角位置各设置有夹头，构成该笼状架体上升至预定高度，并使中心位置对应该夹持翻转机构时，使得该旋转座的夹头能配合卡掣于笼状架体的框条的交错位置作夹持动作，通过驱动源驱使旋转座翻转作动，进而能连动该笼状架体同动翻转。

5.根据权利要求1或2所述的基板的翻转设备，其特征在于所述升降输送单元包括具有至少两个滚动装置的一输送台以及用以驱动该滚动装置的驱动马达，当驱动马达驱使滚动装置作动时，系能使该输送台进行输送动作。