[实用新型]一种铟钢水准标尺检定装置

权利要求书

1.一种铟钢水准标尺检定装置，其特征在于，包括：显微摄像系统、双频激光干涉仪系统、滑动小车、测量平台，所述显微摄像系统包括显微镜、CCD摄像头、照明光源，照明光源安装在显微镜物镜位置，CCD摄像头安装在显微镜后部，所述显微摄像系统安装在滑动小车上，可沿着导轨平滑移动。

2.根据权利要求1所述的一种铟钢水准标尺检定装置，其特征在于，所述双频激光干涉仪系统包括双频激光干涉仪、参考棱镜、移动角锥反射镜，所述双频激光干涉仪安装在测量平台一侧，方向与被测水准标尺平行，参考棱镜固定在测量平台上，移动角锥反射镜装在显微镜的一侧，用以反射激光，并随整个显微摄像系统移动。

3.根据权利要求1所述的一种铟钢水准标尺检定装置，其特征在于，所述测量平台包括直线导轨、滑动小车、多维调整承台，多维调整承台可以在水平和垂直方向调整水准标尺与直线导轨平行，滑动小车在直线导轨上滑动，带动显微镜摄像系统和角锥反射镜同步移动。

4.根据权利要求1或3所述的一种铟钢水准标尺检定装置，其特征在于，所述测量平台还包括杠杆表，杠杆表装在滑动小车上，确保标尺分划面与导轨在水平和垂直两个方向的平行。

5.根据权利要求1所述的一种铟钢水准标尺检定装置，其特征在于，所述照明光源采用亮度可调的LED光源。

6.根据权利要求1所述的一种铟钢水准标尺检定装置，其特征在于，所述显微摄像系统采用可变焦大景深显微镜，可变焦物镜倍率从0.7倍到4.5倍。

7.根据权利要求1所述的一种铟钢水准标尺检定装置，其特征在于，所述显微摄像系统还包括2x的伽利略物镜组，安装在显微镜前面，使物镜焦距增大2倍，使变焦范围从1.4倍到9倍。

8.根据权利要求1所述的一种铟钢水准标尺检定装置，其特征在于，所述显微摄像系统采用10倍到50倍可换物镜显微镜。

9.根据权利要求1所述的一种铟钢水准标尺检定装置，其特征在于，所述显微摄像系统采用多种定焦物镜显微镜。

10.根据权利要求1所述的一种铟钢水准标尺检定装置，其特征在于，所述双频激光干涉仪通过专用接口与计算机相联。