[实用新型]MEMS模块及基于该模块的控制系统

权利要求书

1.一种MEMS模块，包括电路基板、设于该电路基板上的用于接收信号的信号接收单元、信号处理模块及通信单元，其特征在于：所述电路基板为柔性电路基板，所述信号处理单元的输入端连接信号接收单元，其输出端连接所述通信单元的输入端。 

2.如权利要求1所述MEMS模块，其特征在于:所述柔性电路基板上设有RS485接口，所述信号处理模块通过RS485接口与该柔性电路基板相连。 

3.如权利要求2所述MEMS模块，其特征在于:所述RS485接口包括平衡驱动器和差分接收器，其中差分接收器的输入端与所述平衡驱动器的输出端相连，所述差分接收器的输出端连接所述信号处理模块。 

4.如权利要求1所述MEMS模块，其特征在于：所述信号处理模块，包括A/D转换模块、数字信号处理单元、D/A转换模块，其中该数字信号处理单元的输入端与A/D转化模块相连，其输出端连接D/A转换模块。 

5.如权利要求4所述MEMS模块，其特征在于：所述信号处理模块还包括用于提供电源的电源模块，所述电源模块分别与D/A转化模块和A/D转换模块的输入端相连。 

6.如权利要求1所述MEMS模块，其特征在于：所述信号接收单元为贴片式天线。 

7.一种基于如权利要求1所述MEMS模块的控制系统，其包括用于采集被测物数据的MEMS传感器模块、接收并处理MEMS传感器模块发出信息的MEMS模块、管理模块及与所述管理模块相连的微执行器，其特征在于：所述MEMS模块与管理模块相互连接。 

8.如权利要求7所述基于MEMS模块的控制系统，其特征在于：所述MEMS传感器模块设有无线发射模块，所述无线发射模块用于将MEMS传感器模块采集到数据发送至MEMS模块。 

9.如权利要求7所述基于MEMS模块的控制系统，其特征在于： 所述MEMS传感器模块包括压力传感器和加速度传感器。 

10.如权利要求7所述基于MEMS模块的控制系统，其特征在于：所述微执行器包括微型马达、微型镊子、微型泵、微型阀、微型光学器件、打印机喷头和硬盘磁头。 

11.如权利要求7所述基于MEMS模块的控制系统，其特征在于：所述MEMS传感器模块设有用于校准所述MEMS传感器模块的数据的校准模块。