[实用新型]一种双频离子源

权利要求书

1.一种双频离子源，包括背板、放电室、栅极和中和器，所述放电室的后端由背板遮盖封闭，背板上设有气体输入孔，栅极安装在放电室前端，中和器设置在栅极等离子体发射口处；其特征在于，所述放电室为圆筒式并分为两段，前段为小直径段，后段为大直径段，在两段放电室外缘设置两级射频感应线圈。

2.根据权利要求1所述的双频离子源，其特征在于，所述两级射频感应线圈连接两个独立的电源，其中一个频率是60兆赫，对应的射频感应线圈绕在小直径段，另一个频率是13.6兆赫，对应的射频感应线圈绕在大直径段。

3.根据权利要求1或2所述的双频离子源，其特征在于，60兆赫的线圈匝数为6匝，匝间距离为10mm，13.6兆赫匝数为4匝，匝间距离为8mm，两个线圈外均裹有1mm厚的绝缘层，感应线圈选用铜管，内部通有去离子水冷却。

4.根据权利要求1或2所述的双频离子源，其特征在于，所述小直径与大直径的直径之比为D₁：D₂=1：1.2。

5.根据权利要求1或2所述的双频离子源，其特征在于，在放电室大直径段后部接近背板处平行设置均气用的屏蔽板。

6.根据权利要求1或2所述的双频离子源，其特征在于，放电室壁材料选用小复合系数的石英。

7.根据权利要求1或2所述的双频离子源，其特征在于，在背板外部开有一环形水槽并通入冷却水。

8.根据权利要求1或2所述的双频离子源，其特征在于，栅极采用包括引出栅、加速栅和抑制栅的三栅离子光学系统。