[实用新型]具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置有效
| 申请号： | 201320299148.0 | 申请日： | 2013-05-28 |
| 公开（公告）号： | CN203373420U | 公开（公告）日： | 2014-01-01 |
| 发明（设计）人： | 郑芳平;张迅;易伟华 | 申请（专利权）人： | 江西沃格光电科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 吴平 |
| 地址： | 338004 江西省*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 具有 机构 真空镀膜 真空 装置 | ||
1.一种具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置，其特征在于，包括自限温伴热带，所述自限温伴热带贴合于真空镀膜机抽真空装置的抽气管道端部；所述自限温伴热带设置有发热电阻。
2.根据权利要求1所述的具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置，其特征在于，所述自限温伴热带均匀贴合于所述抽真空装置的抽气管道端部。
3.根据权利要求2所述的具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置，其特征在于，所述自限温伴热带在所述抽真空装置的抽气管道端部均匀贴合一层。
4.根据权利要求1～3任意一项所述的具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置，其特征在于，所述自限温伴热带缠绕于所述抽真空装置的抽气管道端部。
5.根据权利要求1～3任意一项所述的具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置，其特征在于，所述自限温伴热带胶合于所述抽真空装置的抽气管道端部。
6.根据权利要求1～3任意一项所述的具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置，其特征在于，所述自限温伴热带卡合于所述抽真空装置的抽气管道端部。
7.根据权利要求3所述的具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置，其特征在于，所述自限温伴热带的加热温度为60℃～80℃。
8.根据权利要求3所述的具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置，其特征在于，所述自限温伴热带的功率为8W/m～65W/m。
9.根据权利要求8所述的具有加热机构的真空镀膜机抽真空装置，其特征在于，所述自限温伴热带的功率为35W/m。
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