[实用新型]一种多晶铸锭炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种多晶铸锭炉。

背景技术

    目前，在多晶铸锭炉中的坩埚底部设置有平板状的热交换台，这种热交换台，由于散热不均，长晶过程中会出现凸形晶面，并形成位错，沉积杂质，影响了多晶硅品质。

发明内容

本实用新型的目的是提供能防止长晶过程中出现凸形晶面，从而提高产品品质的一种多晶铸锭炉。

本实用新型采取的技术方案是：一种多晶铸锭炉，在本体中设有隔热笼，坩埚位于隔热笼中，在坩埚的顶部以及隔热笼内设有顶部加热器，在坩埚的两侧以及隔热笼内设有侧部加热器，在坩埚的底部设有热交换台，其特征在于热交换台与坩埚的接触一面为平面状，另一面呈圆弧状或另一面上具有凸出的圆弧体或柱体。

采用本实用新型，由于热交换台呈中间厚两侧薄，延缓了中间的散热，而两侧的在侧部加热器5作用下相对散热较慢，这样就能保持热交换台6两侧和中间的同步且均匀散热，促进均匀长晶，就不会形成凸形晶面，从而提高铸锭品质。

附图说明

图1是本实用新型实施例一的示意图。

图2是本实用新型实施例二的示意图。

图3是本实用新型实施例三的示意图。

图中序号表示：本体1、顶部加热器2、隔热笼3、坩埚4、侧部加热器5、热交换台6、柱体7和圆弧体8。

具体实施方式

下面对本实用新型作进一步说明。

一、实施例一

参照图1，该多晶铸锭炉的本体1中设有隔热笼3，坩埚4位于隔热笼3中，在坩埚4的顶部以及隔热笼3内设有顶部加热器2，在坩埚4的两侧以及隔热笼3内设有侧部加热器5，在坩埚4的底部设有热交换台6，该热交换台6与坩埚4的接触一面为平面状，另一面呈圆弧状。由于热交换台6的一面呈圆弧状，中间增厚延缓了中间的散热，而圆弧状的两薄面在侧部加热器5作用下相对散热较慢，这样就能保持热交换台6两侧和中间的同步且均匀散热，促进均匀长晶，就不会形成凸形晶面。

二、实施例二

参照图2，该多晶硅铸锭炉的本体1中设有隔热笼3，坩埚4位于隔热笼3中，在坩埚4的顶部以及隔热笼3内设有顶部加热器2，在坩埚4的两侧以及隔热笼3内设有侧部加热器5，在坩埚4的底部设有热交换台6，该热交换台6与坩埚4的接触一面为平面状，另一面上具有柱体7。由于柱体7增加了热交换台6的中间厚度，延缓了中间的散热，而两侧的平板面在侧部加热器5作用下相对散热较慢，这样就能保持热交换台6两侧和中间的同步且均匀散热，促进均匀长晶，就不会形成凸形晶面。

三、实施例三

参照图3，该多晶硅铸锭炉的本体1中设有隔热笼3，坩埚4位于隔热笼3中，在坩埚4的顶部以及隔热笼3内设有顶部加热器2，在坩埚4的两侧以及隔热笼3内设有侧部加热器5，在坩埚4的底部设有热交换台6，该热交换台6与坩埚4的接触一面为平面状，另一面上具有圆弧体7。由于圆弧体8增加了热交换台6的中间厚度，延缓了中间的散热，而两侧的平板面在侧部加热器5作用下相对散热较慢，这样就能保持热交换台6两侧和中间的同步且均匀散热，促进均匀长晶，就不会形成凸形晶面。