[实用新型]单晶炉快速冷却装置有效
| 申请号： | 201320303095.5 | 申请日： | 2013-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN203559151U | 公开（公告）日： | 2014-04-23 |
| 发明（设计）人： | 周锐;李侨;李定武 | 申请（专利权）人： | 西安隆基硅材料股份有限公司;无锡隆基硅材料有限公司;宁夏隆基硅材料有限公司;银川隆基硅材料有限公司 |
| 主分类号： | C30B15/00 | 分类号： | C30B15/00;F27D9/00 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 罗笛 |
| 地址： | 710100 陕西*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 单晶炉 快速 冷却 装置 | ||
【权利要求书】：
1.单晶炉快速冷却装置，其特征在于：包括冷却管(1)及其驱动装置，所述冷却管(1)设有冷却介质进口(2)和冷却介质出口(3)；所述冷却管(1)为波纹管或螺旋管；单晶炉拉晶结束后，所述冷却管(1)在驱动装置的驱动下，升高至单晶炉主室的高温区，冷却结束后，所述冷却管(1)在驱动装置的驱动下，下降至单晶炉外部，保温层以下。
2.如权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置，其特征在于：所述冷却管(1)为一个或多个。
3.如权利要求1或2所述的单晶炉快速冷却装置，其特征在于：所述冷却管(1)为高热传导率的金属管，外部套有波纹管。
4.如权利要求3所述的单晶炉快速冷却装置，其特征在于：所述冷却管(1)为铜波纹管。
5.如权利要求1所述的单晶炉快速冷却装置，其特征在于：所述驱动装置为电动机、液压系统或手摇把柄。
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