[实用新型]一种超高纯硝酸生产装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种超净高纯化学试剂，具体涉及一种超高纯硝酸生产装置。

背景技术

超净高纯化学试剂又称微电子化学品，是电子技术微细加工制作过程中不可缺少的关键性基础化工材料之一，主要用于芯片的清洗和腐蚀，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。随着芯片储存量的不断提高，容量也在不断增大，因而氧化膜变得更薄。但是微电子化学品中的碱金属杂质会溶入氧化膜中，从而导致耐绝缘电压的下降，重金属杂质如果附着在硅晶片上的表面，将会使P-N结的耐电压降低。

超高纯硝酸是一种十分重要的微电子化学试剂，通常以工业级硝酸为原料纯化精制而成，目前超高纯硝酸的制备工艺主要有亚沸蒸馏法、精馏法等，规模生产硝酸主要采用连续精馏法。95％以上浓度的硝酸，具有较高的挥发度且具有很高的沸点，在其精馏过程中个别与硝酸挥发度相近的杂质难以除去，一般工业硝酸经过精馏后，其杂质含量仍无法达到超高纯硝酸的标准。

发明内容

本实用新型针对现有技术不足之处，提供一种超高纯硝酸生产装置。

本实用新型解决现有技术问题的方案是：一种超高纯硝酸生产装置，原料罐连接塔釜，塔釜上设有填料塔，填料塔上设有冷凝器，冷凝器连接中间品储藏罐，中间品储藏罐连接减压氮气吹白装置，减压氮气吹白装置连接稀释脱色处理罐，稀释脱色处理罐连接超净化处理装置，超净化处理装置连接包装装置。

作为上述方案的优选，所述原料罐和塔釜之间设有第一控制阀，所述中间品储藏罐和减压氮气吹白装置之间设有控制阀。

作为上述方案的优选，所述塔釜连接残液储存装置。

与现有技术相比，本实用新型中原料罐和塔釜之间设有第一控制阀，可以及时控制原料进入塔釜的量，中间品储藏罐和减压氮气脱白装置之间设有控制阀，用来空来中间品进入减压氮气吹白装置的中间品量，提高氮气吹白的效果，塔釜连接残液储存装置，及时收集残液并对其进行再处理。

附图说明

图1为本实用新型的系统框图。

具体实施方式

如图1所示，一种超高纯硝酸生产装置，原料罐连接塔釜，塔釜上设有填料塔，填料塔上设有冷凝器，冷凝器连接中间品储藏罐，中间品储藏罐连接减压氮气吹白装置，减压氮气吹白装置连接稀释脱色处理罐，稀释脱色处理罐连接超净化处理装置，超净化处理装置连接包装装置，所述原料罐和塔釜之间设有第一控制阀，所述中间品储藏罐和减压氮气吹白装置之间设有控制阀，塔釜底部连接残液储存装置。

以上所述仅为体现本实用新型原理的较佳实施例，并不因此而限定本实用新型的保护范围，凡是依本实用新型所作的均等变化与修饰皆在本实用新型涵盖的专利范围之内。