[实用新型]一种太阳能电池片生产过程中使用的硅烷废气燃烧塔有效

专利信息
申请号: 201320303557.3 申请日: 2013-05-30
公开(公告)号: CN203375458U 公开(公告)日: 2014-01-01
发明(设计)人: 曹东华;秦楠 申请(专利权)人: 晶澳太阳能有限公司
主分类号: F23G7/06 分类号: F23G7/06
代理公司: 广州知友专利商标代理有限公司 44104 代理人: 李海波;马赟斋
地址: 055550 河北*** 国省代码: 河北;13
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摘要:
搜索关键词: 一种 太阳能电池 生产过程 使用 硅烷 废气 燃烧
【权利要求书】:

1.一种太阳能电池片生产过程中使用的硅烷废气燃烧塔,其特征在于,包括多级燃烧筒、废气吸收塔和排风机,所述多级燃烧筒、废气吸收塔和排风机依次连接,各级燃烧筒之间相互串联且连接有互通管道,各级燃烧筒内通入压缩空气与氮气混合气体且燃烧筒内保持负压环境。

2.根据权利要求1所述太阳能电池片生产过程中使用的硅烷废气燃烧塔,其特征在于,所述多级燃烧筒为三级燃烧筒,包括第一级燃烧筒、第二级燃烧筒和第三级燃烧筒,各级燃烧筒串联后再与废气吸收塔连接。

3.根据权利要求1或2所述太阳能电池片生产过程中使用的硅烷废气燃烧塔,其特征在于,所述各级燃烧筒底部设置有存储硅烷燃烧产物二氧化硅粉末的灰斗。

4.根据权利要求1或2所述太阳能电池片生产过程中使用的硅烷废气燃烧塔,其特征在于,所述废气吸收塔内设有循环水箱,以清水作为氨气吸收液。

5.根据权利要求4所述太阳能电池片生产过程中使用的硅烷废气燃烧塔,其特征在于,所述循环水箱内设有用于对循环水进行pH监控的pH传感器。

6. 根据权利要求1所述太阳能电池片生产过程中使用的硅烷废气燃烧塔,其特征在于,所述废气吸收塔为玻璃钢材质。

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