[实用新型]一种超大直径硅棒和粘结托翻转装置有效
申请号: | 201320306465.0 | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN203419733U | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 范靖;王建锁 | 申请(专利权)人: | 阳光硅谷电子科技有限公司 |
主分类号: | B66F19/00 | 分类号: | B66F19/00 |
代理公司: | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人: | 李海波 |
地址: | 065201 河北省廊坊市三河*** | 国省代码: | 河北;13 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 超大 直径 粘结 翻转 装置 | ||
技术领域
本实用新型具体涉及一种超大直径硅棒和粘结托反转装置。
背景技术
目前,在加工300mm直径以上硅棒过程中,在把硅棒粘结到粘结托上以后,由于粘结托与硅棒体积和质量大,在后续上料工序与下料后的清洗工序,翻转硅棒和粘结托时存在很大难度,如强行翻转则容易发生意外,并损坏硅棒。其中粘结托为具有凹陷结构的工件,在粘接棒和粘结托之间通常还设有树脂垫板等,然后通过粘结剂将硅棒粘结在树脂垫板上,树脂垫板粘结在粘结托上。
发明内容
本实用新型所要解决的技术问题是提供一种超大直径硅棒粘结拖反转装置,该装置可以低速翻转硅棒和粘结托。
本实用新型的上述技术问题是通过如下技术方案来实现的:一种超大直径硅棒和粘结托翻转装置,包括基体,设于基体上的翻转台面和翻转驱动机构,所述翻转驱动机构包括驱动电机和蜗轮减速器,所述驱动电机与蜗轮减速器配合连接,所述翻转台面安装在蜗轮减速器的输出轴上,所述翻转台面由驱动电机驱动并经蜗轮减速器减速在输出轴的带动下低速旋转。
本实用新型所述翻转台面和翻转驱动机构分别设置在基体前后相对两侧。
本实用新型在基体的左右两侧的任一侧面上还设有用于控制翻转台面翻转方向的控制柜。
本实用新型所述翻转台面上设有用于与所述粘结托上的凹陷结构相适配的凸起结构,所述翻转台面与所述粘结托可通过所述凸起结构嵌入所述凹陷结构连接在一起。
本实用新型所述翻转台面上还设有与所述粘结托相应位置处螺栓相适配的螺孔,所述翻转台面与所述粘结托通过将螺栓拧入所述螺孔相固定连接。
本实用新型所述螺孔为四个。
本实用新型具有如下优点:本实用新型硅棒翻转装置,可将粘结托和硅棒固定在翻转台面上,通过翻转驱动机构的驱动,为翻转台面提供动力,并通过控制柜对翻转台面翻转方向的控制,由翻转台面的低速翻转,实现硅棒和粘结托的翻转。
附图说明
图1是具体实施方式中提供的超大直径硅棒和粘结托翻转装置主视图;
图2是具体实施方式中提供的超大直径硅棒粘结托翻转装置侧视图;
图3是具体实施方式中提供的超大直径硅棒粘结托翻转装置的翻转示意图。
具体实施方式
下面结合附图对本装置做进一步说明。
如图1-3所示,一种超大直径硅棒和粘结托翻转装置,包括基体1,设于基体1上的翻转台面2和翻转驱动机构3,翻转驱动机构3包括驱动电机31和蜗轮减速器32,驱动电机31与蜗轮减速器32配合连接,翻转台面2安装在蜗轮减速器32的输出轴33上,翻转台面3由驱动电机31驱动并经蜗轮减速器32减速在输出轴33的带动下低速旋转。
其中翻转台面2和翻转驱动机构3分别设置在基体1前后相对两侧。
为了更好的控制翻转台面的翻转方向,在基体1的左右两侧的任一侧面上还设有用于控制翻转台面2翻转方向的控制柜4。
由于粘结托5的底面具有凹陷结构51,所以在翻转台面2上设有用于与粘结托5上的凹陷结构51相适配的凸起结构21,翻转台面2与粘结托5可通过凸起结构21嵌入凹陷结构51连接在一起。
翻转台面2上还设有与粘结托5相应位置处螺栓6(图中未显示)相适配的螺孔7,翻转台面2与粘结托5通过将螺栓6拧入螺孔7相固定连接。螺孔7优选为四个。
使用时,将粘结托5和硅棒6置于翻转台面2上,即翻转台面3上设有粘结托5,粘结托5上粘结有硅棒6,通常情况下,在粘结托5与硅棒6之间还设有树脂垫板8,粘结托5通过树脂垫板8粘结硅棒6,粘结托5、树脂垫板8、硅棒6和翻转台面3的中心线相重合。
本实用新型中的翻转装置的作用在于精确定位粘结托5,低速旋转翻转台面2,控制柜4可控制翻转台面2正反旋转,在旋转停止位置自动锁死。
本实用新型中粘结托5固定在翻转台面2上,按动控制柜4上的按钮,翻转台面2在驱动电机31提供的动力下按照既定方向进行翻转,翻转方向如图3中所示,当移动到需要位置时,松开控制柜4上的按钮,翻转台面2停止翻转,并且自动锁死。
以上列举具体实施例对本实用新型进行说明。需要指出的是,以上实施例只用于对本实用新型作进一步说明,不代表本实用新型的保护范围,其他人根据本实用新型的提示做出的非本质的修改和调整,仍属于本实用新型的保护范围。
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