[实用新型]金属点阵加权栅阵的声表面波谐振器有效
| 申请号： | 201320307230.3 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN203278768U | 公开（公告）日： | 2013-11-06 |
| 发明（设计）人： | 李强;黄铁辉 | 申请（专利权）人： | 中科微声（天津）传感技术有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/25 | 分类号： | H03H9/25;H03H9/02 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 300384 天津市滨海新区华苑产业区海*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 金属 点阵 加权 表面波 谐振器 | ||
【权利要求书】：
1.金属点阵加权栅阵的声表面波谐振器，包括压电基片，所述压电基片上溅射金属叉指换能器和金属栅阵，其特征在于，所述金属栅阵包括分别设置在所述金属叉指换能器左右两侧的反射栅，将左侧的反射栅称作第一反射栅，将右侧的反射栅称作第二反射栅，所述第一反射栅和第二反射栅组成的金属栅阵在所述金属叉指换能器左右两侧对称分布；所述第一反射栅和第二反射栅分别包括多根指条，在所述第一反射栅和第二反射栅的相邻指条间设置金属点阵。
2.根据权利要求1所述的金属点阵加权栅阵的声表面波谐振器，其特征在于，所述金属叉指换能器的厚度为1500埃，所述金属叉指换能器的金属指条周期λ为9.86微米，设置70根指条，孔径大小为120λ。
3.根据权利要求2所述的金属点阵加权栅阵的声表面波谐振器，其特征在于，所述第一反射栅和第二反射栅同时为开路栅或者短路栅阵。
4.根据权利要求3所述的金属点阵加权栅阵的声表面波谐振器，其特征在于，每个反射栅包含138根指条。
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