[实用新型]一种两段式石墨坩埚有效
申请号: | 201320310076.5 | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN203411661U | 公开(公告)日: | 2014-01-29 |
发明(设计)人: | 张贤虎 | 申请(专利权)人: | 西格里特种石墨(上海)有限公司 |
主分类号: | C30B35/00 | 分类号: | C30B35/00 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 200041 上海市奉*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 段式 石墨 坩埚 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种石墨坩埚,具体涉及一种用于单晶炉生产的两段式石墨坩埚。
背景技术
现有石墨坩埚均为简单的整体结构设计,在使用过程中坩埚的上部极容易溅上硅液,一旦发生这种情况,整个坩埚便不得不报废处理,严重缩短了坩埚的使用寿命,同时也增加了成本。
实用新型内容
本实用新型所要解决的技术问题就是克服现有技术存在的缺陷,提供一种两段式、并能有效保护坩埚的上部的石墨坩埚。
本实用新型是通过以下技术方案来实现的:
一种两段式石墨坩埚,包括坩埚主体和坩埚座,所述坩埚主体放置在所述坩埚座上,所述石墨坩埚还包括有石墨环,所述石墨环可拆卸式的连接在所述坩埚主体的顶部,所述石墨环呈圆环状,所述石墨圆环的下端设有环形的内卡沿,所述坩埚主体的顶部设有与所述内卡沿相适配的外卡沿。
如此设计,将坩埚结构设计为上下两段式,当上部溅上硅液的情况发生,只需更换石墨环即可,不但增加了坩埚的使用寿命,同时也降低了成本。
作为优化,所述坩埚主体呈碗状,所述坩埚主体由第一坩埚板和第二坩埚板相互拼接围成,所述第一坩埚板与所述第二坩埚板的下端均设有定位卡脚,所述定位卡脚呈倒置的圆锥台形。
作为优化,所述坩埚座上设置有定位凹槽,所述定位凹槽呈圆柱状,所述定位凹槽的槽深与所述定位卡脚的高度相一致,所述定位凹槽的直径与所述定位卡脚的最大直径相一致。如此设计,坩埚固定更为牢固。
本实用新型具有结构简单、成本低廉、使用方便、设计巧妙等优点,克服了传统石墨坩埚一旦上部溅上硅液,必须整个坩埚报废的缺陷,能广泛适用于石墨坩埚的生产制造。
附图说明
图1是本实用新型的平面结构示意图。
图2是本实用新型的剖面结构示意图。
图中:1-坩埚主体、2-坩埚座、3-石墨环、4-内卡沿、5-外卡沿、6-第一坩埚板、7-第二坩埚板、8-定位卡脚。
具体实施方式
结合图1与图2,石墨坩埚包括坩埚主体1和坩埚座2,坩埚主体1放置在坩埚座2上,石墨坩埚还包括有石墨环3,石墨环3可拆卸式的连接在坩埚主体1的顶部,石墨环3呈圆环状,石墨环3的下端设有环形的内卡沿4,坩埚主体1的顶部设有与内卡沿4相适配的外卡沿5;坩埚主体1呈碗状,坩埚主体1由第一坩埚板6和第二坩埚板7相互拼接围成,第一坩埚板6与第二坩埚板7的下端均设有定位卡脚8,定位卡脚8呈倒置的圆锥台形;坩埚座2上设置有定位凹槽,定位凹槽呈圆柱状,定位凹槽的槽深与定位卡脚8的高度相一致,定位凹槽的直径与定位卡脚8的最大直径相一致。
本实用新型包括但不限于上述实施方式,任何符合本权利要求书描述的产品,均落入本实用新型的保护范围之内。
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