[实用新型]单晶炉石墨坩埚

说明书

【技术领域】

本实用新型涉及一种单晶炉生产设备，具体涉及一种单晶炉的石墨坩埚。

【背景技术】

单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。单晶炉中有一个重要部件为石墨坩埚，传统的石墨坩埚大多选用单瓣式的，单瓣式石墨坩埚的结构简单，但缺点是装炉不方便，更换成本高。

【发明内容】

针对背景技术存在的不足，本实用新型的目的是在于提供一种具有装炉方便、更换成本低等优点的单晶炉石墨坩埚。

本实用新型是采取如下技术方案来完成的：

单晶炉石墨坩埚，其特征在于：单晶炉石墨坩埚的锅体由四瓣锅片围成，四瓣锅片的底部设有箍圈，箍圈为托盘式结构，箍圈从四瓣锅片的底部将四瓣锅片进行箍住并进行托住。

采用上述技术方案的单晶炉石墨坩埚，首先，在装炉时可以一瓣瓣进行安装，所以装炉方便；其次，石墨坩埚在使用一段时间后容易产生开裂，这时可以将开裂的一瓣锅片进行更换，另外的三瓣还可以继续使用，所以更换成本低。

为实现锅片的互换性，作为优选技术方案，四瓣锅片具有相同的外形结构。

【附图说明】

本实用新型有如下附图：

图1为单晶炉石墨坩埚的结构图，

图2为图1的俯视图。

【具体实施方式】

如图所示，本实用新型的单晶炉石墨坩埚，包括锅体和箍圈2，所述锅体由四瓣锅片1围成，四瓣锅片1具有相同的外形结构，所述箍圈2设在四瓣锅片1的底部，箍圈2为托盘式结构，箍圈具有的外缘21从四瓣锅片1的底部将四瓣锅片1进行箍住，箍圈具有的底盘22从四瓣锅片1的底部将四瓣锅片1进行托住。