[实用新型]硅片清洗甩干装置有效
申请号: | 201320311479.1 | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN203265120U | 公开(公告)日: | 2013-11-06 |
发明(设计)人: | 石少华;俞超;吕海强;刘飞;杜同江 | 申请(专利权)人: | 浙江金乐太阳能科技有限公司 |
主分类号: | B08B3/02 | 分类号: | B08B3/02;B08B3/06;F26B5/08 |
代理公司: | 余姚德盛专利代理事务所(普通合伙) 33239 | 代理人: | 胡小永 |
地址: | 315201 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 硅片 清洗 装置 | ||
技术领域
本实用新型涉及一种清洗装置,特别涉及一种硅片清洗甩干装置。
背景技术
在硅基板太阳能电池生产过程中,需要对硅片进行清洗及干燥,传统工艺中,清洗与干燥分两道工序完成,降低了生产效率。
实用新型内容
(一)要解决的技术问题
本实用新型要解决的技术问题是提供一种集清洗、甩干于一体的,能提高生产效率的硅片清洗甩干装置。
(二)技术方案
为解决上述技术问题,本实用新型提供一种硅片清洗甩干装置,包括气缸1、盖板3、清洗槽5、支架7、电机9、转筒10和硅片承载器12,所述清洗槽5固定安装在所述支架7上,所述电机9固定安装在所述清洗槽5的底部,且所述电机9的输出轴延伸至所述清洗槽5内,所述转筒10安装在所述清洗槽5内,且所述转筒10的底部固定连接在所述电机9的输出轴上,所述转筒10的表面开设有小孔,所述硅片承载器12周向均布在所述转筒10内,所述气缸1垂直安装在所述清洗槽5的正上方,所述盖板3固定安装在所述气缸1的输出轴上,所述盖板3的底部设有喷嘴4,所述喷嘴4连接进水管2,所述清洗槽5的底部开设有出水口8。
进一步的,所述清洗槽5的侧壁开设有观察孔11。
进一步的,所述出水口8上设有电磁阀。
进一步的,所述清洗槽5内设有水位传感器6。
(三)有益效果
本实用新型硅片清洗甩干装置,在清洗时,将硅片安放在硅片承载器上,气缸驱动盖板盖住清洗槽,进水管供水,经喷嘴实现对硅片的清洗,同时电机驱动转筒旋转,提高清洗质量,完成清洗后,开启电磁阀,使清洗槽内的水流出,同时电机高速旋转,利用离心力甩干硅片;本实用新型硅片清洗甩干装置,结构简单,集清洗与甩干于一体,提高了生产效率。
附图说明
图1为本实用新型硅片清洗甩干装置的结构示意图。
具体实施方式
参阅图1,本实用新型提供一种硅片清洗甩干装置,包括气缸1、盖板3、清洗槽5、支架7、电机9、转筒10和硅片承载器12,清洗槽5固定安装在支架7上,电机9固定安装在清洗槽5的底部,且该电机9的输出轴延伸至清洗槽5内,转筒10安装在清洗槽5内,且该转筒10的底部固定连接在电机9的输出轴上,在转筒10的表面开设有小孔,硅片承载器12周向均布在转筒10内,气缸1垂直安装在清洗槽5的正上方,盖板3固定安装在气缸1的输出轴上,盖板3的底部设有喷嘴4,喷嘴4连接进水管2,清洗槽5的底部开设有出水口8,在出水口8上设有电磁阀;为了实时了解清洗槽内部清洗情况,在清洗槽5的侧壁开设有观察孔11,且在清洗槽5内设有水位传感器6。
本实用新型硅片清洗甩干装置,在清洗时,将硅片安放在硅片承载器上,气缸驱动盖板盖住清洗槽,进水管供水,经喷嘴实现对硅片的清洗,同时电机驱动转筒旋转,提高清洗质量,完成清洗后,开启电磁阀,使清洗槽内的水流出,同时电机高速旋转,利用离心力甩干硅片;本实用新型硅片清洗甩干装置,结构简单,集清洗与甩干于一体,提高了生产效率。
以上所述仅是本实用新型的优选实施方式,应当指出,对于本技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本实用新型技术原理的前提下,还可以 做出若干改进和润饰,这些改进和润饰也应视为本实用新型的保护范围。
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