[实用新型]一种太阳能硅片扩散炉

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造设备技术领域，具体涉及一种太阳能硅片扩散炉。

背景技术

太阳能作为一种清洁能源，正日益得到广泛的应用。硅片是太阳能产业中最为重要的元件，硅片在生产流程中需要经过多道处理工序，以便保证硅片的光电转换效果。在制备过程中，扩散是制备PN结的重要工艺过程，现有技术采用高温管式扩散炉来完成这一过程，其存在结构设计复杂，使用不便，成品率不高。

实用新型内容

（一）要解决的技术问题

本实用新型要解决的技术问题是提供一种太阳能硅片扩散炉，解决现有的扩散炉结构设计复杂，使用不便，成品率不高等问题。

（二）技术方案

为解决上述技术问题，本实用新型所采用的技术方案是：一种太阳能硅片扩散炉，包括炉体和石英舟，所述炉体一端设有进气口，所述炉体侧壁上设有出气口，所述出气口处设有风阀，所述炉体内设有气压传感器，所述气压传感器用于检测所述炉体内气压并控制所述风阀的出风量。

所述石英舟包括底架条以及设于该底架条两侧的边架支撑板，所述边架支撑板的外端部设有边架条，所述底架条上沿其长度方向间隔设有凹槽。

（三）有益效果

本实用新型相比较于现有技术，具有如下有益效果：由于炉体内设有气压传感器，可监控炉体内气压，并实时调节，且石英舟设计合理，制造成本低，硅片成品率高，具有实用性。

附图说明

图1是本实用新型的太阳能硅片扩散炉的结构图。

图2是图1中的石英舟的结构图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例，对本实用新型的具体实施方式作进一步的详细描述。以下实施例用于说明本实用新型，但不用来限制本实用新型的范围。

如图1所示的，一种太阳能硅片扩散炉，包括炉体1和石英舟2，所述炉体1一端设有进气口3，所述炉体1侧壁上设有出气口4，所述出气口4处设有风阀5，所述炉体1内设有气压传感器6，所述气压传感器6用于检测所述炉体1内气压并控制所述风阀5的出风量。

如图2所示的，所述石英舟2包括底架条7以及设于该底架条7两侧的边架支撑板8，所述边架支撑板8的外端部设有边架条9，所述底架条7上沿其长度方向间隔设有凹槽10。

本实用新型由于炉体内设有气压传感器，可监控炉体内气压，并实时调节，且石英舟设计合理，制造成本低，硅片成品率高，具有实用性。

当然，以上仅是本实用新型的具体应用范例，对本实用新型的保护范围不构成任何限制。除上述实施例外，本实用新型还可以有其它实施方式。凡采用等同替换或等效变换形成的技术方案，均落在本实用新型所要求保护的范围之内。