[实用新型]一种无接触式硅片电学型号检测系统有效
| 申请号： | 201320315087.2 | 申请日： | 2013-06-03 |
| 公开（公告）号： | CN203337546U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 曹伟兵;朱洪伟 | 申请（专利权）人： | 上海柏凌电子科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/63 | 分类号： | G01N21/63;G01R31/265 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 翁若莹 |
| 地址： | 201111 上海市闵*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 接触 硅片 电学 型号 检测 系统 | ||
1.一种无接触式硅片电学型号检测系统，其特征在于：包括测试模块(1)，信号处理模块(2)与测试模块(1)相连，控制模块(3)与信号处理模块(2)相连；
测试模块(1)包括基座(133)，用于放置硅片(131)的承载平台(132)设于基座(133)上，承载平台(132)内部下方设有光电传感器；红外光源(111)和静电耦合传感器(121)垂直设于硅片(131)上部；放大电路(152)与红外光源(111)连接，脉冲信号发生器(151)与红外光源(111)连接；
信号处理模块(2)由用于对采集到的硅片(131)的表面光电动势进行处理的第一信号处理单元(21)和用于对脉冲发生器(151)产生的脉冲信号进行处理的第二信号处理单元(22)组成，放大电路(152)连接第一信号处理单元(21)，脉冲信号发生器(151)连接第二信号处理单元(22)；
控制模块(3)包括微处理器(31)，模/数与数/模转换处理器(33)与微处理器(31)连接，用于显示硅片电学型号的LCD触摸屏(32)也连接微处理器(31)；微处理器(31)还连接光电传感器。
2.如权利要求1所述的一种无接触式硅片电学型号检测系统，其特征在于：所述承载平台(132)上设有用于所述硅片(131)中心位置对准的位置记号。
3.如权利要求1所述的一种无接触式硅片电学型号检测系统，其特征在于：所述红外光源(111)和静电耦合传感器(121)均通过固定架(141)设于所述基座(133)上。
4.如权利要求1所述的一种无接触式硅片电学型号检测系统，其特征在于：所述微处理器(31)连接数据保存开关。
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