[实用新型]具有双离子源的离子注入机

说明书

技术领域

本实用新型属于离子注入机，尤其涉及一种具有双离子源的离子注入机。

背景技术

现有的离子注入机只有一个单独的离子源A，如图1所示，在离子源出口处有适配的偏转磁场分析器(Source Analysis Magic，SAM)B。当离子源寿命极限到达时，需要对离子源进行维护保养，而此时的离子注入机不能进行正常的产品运行。因此离子源的维护保养是降低转离子注入机运行率的极大因素。

为此，急需提供一种新的离子注入机，当离子源在拆卸下来进行维护时，提高离子注入机的运行率。

实用新型内容

本实用新型的目的是提供一种具有双离子源的离子注入机，用以解决当离子源拆卸下来进行维护时，做到离子注入机运行维护两不误的问题。

为解决上述问题，本实用新型提供了一种具有双离子源的离子注入机，包括：

两个离子源，每一所述离子源的出口端的前部增加一隔离阀；

一偏转磁场分析器；以及

一连接管道，所述连接管道具有第一端、第二端和第三端，所述第一端和第二端的外侧分别增加一离子源偏转磁场，所述第一端和第二端分别连接一所述离子源的出口端，所述第三端连接所述偏转磁场分析器的进口端。

优选的，所述连接管道的形状为“Y”型，所述“Y”型的第一边、第二边和第三边分别与所述第一端、第二端和第三端一一对应。

进一步的，两个所述离子源不同时工作。

进一步的，一所述离子源工作时，另一所述离子源上的隔离阀关闭。

进一步的，每个所述离子源偏转磁场使与其对应的离子源输出的离子束流平行进入所述偏转磁场分析器。

由以上技术方案可知，本实用新型公开的一种具有双离子源的离子注入机，所述具有双离子源的离子注入机包括两个离子源，每一所述离子源的出口端的前部增加一隔离阀；一偏转磁场分析器；以及一连接管道，所述连接管道具有第一端、第二端和第三端，所述第一端和第二端的外侧分别增加一离子源偏转磁场，所述第一端和第二端分别连接一所述离子源的出口端，所述第三端连接所述偏转磁场分析器的进口端，通过交叠使用不同的离子源，使其中的一个离子源在拆卸下来进行维护的过程中，使用另一个离子源，做到设备运行维护两不误，大大提高了设备的使用效率。

附图说明

图1为现有技术实施例中的离子注入机的结构示意图；

图2为图1所示的离子注入机的结构俯视示意图；

图3为本实用新型实施例中的具有双离子源的离子注入机的结构示意图；

图4为图3所示的具有双离子源的离子注入机的结构俯视示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本实用新型的具体实施方式做详细的说明。

在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本实用新型。但是本实用新型能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本实用新型内涵的情况下做类似推广，因此本实用新型不受下面公开的具体实施的限制。

参见图3，结合图4，对本实用新型提供的一种具有双离子源的离子注入机进行详细描述。

所述具有双离子源的离子注入机包括：两个离子源、一偏转磁场分析器B以及一连接管道C。其中，两个离子源分别是离子源一A1和离子源二A2，所述离子源一的出口端的前部增加隔离阀一D1，所述离子源二的出口端的前部增加隔离阀二D2。所述连接管道具有第一端、第二端和第三端，所述第一端连接所述离子源一的出口端，且所述第一端的外侧增加离子源偏转磁场一E1，所述第二端连接所述离子源二的出口端，且所述第二端的外侧增加离子源偏转磁场二E2，所述第三端连接所述偏转磁场分析器的进口端。

在本实用新型最佳实施例中，所述连接管道的形状为“Y”型，所述“Y”型具有三边，所述三边分别为第一边、第二边和第三边，所述第一边的端口为所述第一端，所述第二边的端口为所述第二端，所述第三边的端口为所述第三端。