[实用新型]一种高精度双端固定谐振音叉式压力传感器

权利要求书

1.一种高精度双端固定谐振音叉式压力传感器，其特征在于：其包括压力承载单元、微杠杆机构、柔性接触点、压力音叉、参考音叉、激励压电元件、测频压电元件、主体和嵌入式处理模块，所述压力音叉和参考音叉位于同一块主体基材上，大小相同，位置相邻，两个音叉的音叉臂互相平行，且均有一个激励压电元件和一个测频压电元件安装在各音叉的两个音叉臂上，激励压电元件输入与测频压电元件输出均连接到嵌入式处理模块中。

2.根据权利要求1所述的一种高精度双端固定谐振音叉式压力传感器，其特征在于：所述主体的材料为恒弹性合金。

3.根据权利要求1所述的一种高精度双端固定谐振音叉式压力传感器，其特征在于：所述压力承载单元、微杠杆机构、柔性接触点、压力音叉、参考音叉均在一整块恒弹性合金基材上经过线切割、光刻、腐蚀加工成型，各部分相连，是一个完整的有机整体。

4.根据权利要求1所述的一种高精度双端固定谐振音叉式压力传感器，其特征在于：所述参考音叉两端固定在主体上。

5.根据权利要求1所述的一种高精度双端固定谐振音叉式压力传感器，其特征在于：所述压力音叉一端固定在主体上，另一端与微杠杆机构相连。

6.根据权利要求1所述的一种高精度双端固定谐振音叉式压力传感器，其特征在于：所述微杠杆机构一端与主体通过一个柔性接触点相连，并以柔性接触点作为杠杆支点，微杠杆机构另一端上方与压力承载单元相连。