[实用新型]一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器

权利要求书

1.一种MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器，其特征在于：结构包括：

保温外盒（1）；

密封内盒（2）；

填充于保温外盒（1）与密封内盒（2）之间的保温材料（3）；

环绕于密封内盒（2）周围的减振材料（4）；

固定于密封内盒（2）底面的金属固定底座（5）；

固定于金属固定底座（5）上的入射端双光纤插针（6），入射端准直透镜（7），第一加热功率电阻（8），MEMS法布里-珀罗腔芯片（9），第二加热功率电阻（11），出射端准直透镜（12），出射端双光纤插针（13）；

固定于MEMS法布里-珀罗腔芯片（9）上的热敏电阻（10）。

2.根据权利要求1所述的MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器，其特征在于：所述MEMS法布里-珀罗腔芯片（9）为腔长可变的空气隙法布里-珀罗腔，所述法布里-珀罗腔包括镀在硅基底（14）上的下反射镜（15）、与下反射镜（15）平行的上反射镜（16），两平行反射镜之间的空气隙介质层（17）。

3.根据权利要求1所述的MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器，其特征在于：所述入射端准直透镜（7）、出射端准直透镜（12）与入射端双光纤插针（6）、出射端双光纤插针（13）分别采用紫外胶粘接，粘接面倾斜角度8°。

4.根据权利要求1所述的MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器，其特征在于：所述入射端双光纤插针（6）的光纤（6-b）与出射端双光纤插针（13）的光纤（13-a）串接。

5.根据权利要求1所述的MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器，其特征在于：所述入射端双光纤插针（6）的高斯光束倾斜射入法布里-珀罗腔。

6.根据权利要求5所述的MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器，其特征在于：所述倾斜角度为1.8°。

7.根据权利要求1所述的MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器，其特征在于：所述法布里-珀罗腔芯片（9）中心的高斯光束束腰直径为65um，高斯光束工作距离为5mm，即束腰位置与入射端准直透镜（7）、出射端准直透镜（12）的距离分别为2.5mm。

8.根据权利要求1所述的MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器，其特征在于：所述第一加热功率电阻（8），第二加热功率电阻（11），热敏电阻（10）连接温控电路模块（18）。

9.根据权利要求1所述的MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器，其特征在于：所述第一加热功率电阻（8），第二加热功率电阻（11）通过半导体工艺生成加热功率电阻层，与法布里-珀罗腔集成一体。

10.根据权利要求1所述的MEMS法布里-珀罗腔可调谐滤波器，其特征在于：所述保温外盒（1）由聚四氟乙烯构成；所述密封内盒（2）由可伐材料构成；所述密封内盒（2）内充氮气后密封；所述保温材料（3）为耐火石英棉；所述减振材料（4）为硅橡胶软管；所述金属固定底座（5）由导热硅胶粘接于密封内盒（2）底部；所述MEMS法布里-珀罗腔芯片（9）采用环氧胶固定于金属固定底座（5）的U型槽之内。