[实用新型]在工件上形成光学膜的设备有效
| 申请号： | 201320324961.9 | 申请日： | 2013-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN203284454U | 公开（公告）日： | 2013-11-13 |
| 发明（设计）人： | 高忠义 | 申请（专利权）人： | 惠州欧博莱光电技术有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/08;C23C14/10 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 516000 广东省惠州市仲恺*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 工件 形成 光学 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种在工件上形成光学膜的设备，其特征在于：所述的设备包括一机座，机座上设有一密封微波罩，密封微波罩的上下位置分别连接有输气管道和真空泵；所述密封微波罩内安装有工件固定夹，且所述密封微波罩上方依次安装有天线、同轴机构、模式转换器，且所述模式转换器通过波导管连接有微波发生源。
2.根据权利要求1所述的在工件上形成光学膜的设备，其特征在于：所述的天线为单天线或者“Y”形天线或者“X”形天线或者双“X”形天线。
3.根据权利要求1所述的在工件上形成光学膜的设备，其特征在于：所述的模式转换器为方形波导转同轴的模式转换器。
4.根据权利要求1所述的在工件上形成光学膜的设备，其特征在于：所述的波导管为方形波导管。
5.根据权利要求1所述的在工件上形成光学膜的设备，其特征在于：所述的微波发生源为脉冲微波发生源。
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