[实用新型]一种单晶炉热场导流筒保护装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及单晶生长制造领域，具体涉及一种单晶炉热场导流筒保护装置。

背景技术

随着单晶炉技术的发展，单晶生长技术已经由原来的无导流筒技术发展到目前的导流筒技术。

导流筒在单晶炉内处于悬挂状态，即外导流筒1是通过下沿连接悬挂在内导流筒2上的（如图1所示）。单晶炉在运行时，炉内的温度较高，由于导流筒的材质为石墨，而石墨在高温下会与炉内的硅蒸汽发生反应，使导流筒的强度降低，而外导流筒和内导流筒连接处的强度降低后会出现外导流筒掉落事故，从而导致单晶炉无法正常运行，而且由于导流筒断裂后的碎片落入熔化的硅料内使硅料不可再用，从而导致生产成本的增加。

发明内容

为解决上述技术问题，本实用新型的目的是提供一种单晶炉热场导流筒保护装置。本实用新型结构简单、使用方便、实用性强，其不仅提高了外导流筒的使用寿命，还可以防止硅料被污染，从而降低了生产成本。

为实现上述实用新型目的，本实用新型所提供的技术方案如下：

一种单晶炉热场导流筒保护装置，包括一个或多个吊钩，其中，所述吊钩为一体式设置，依次设有钩头、钩臂和钩尾；所述钩臂沿内导流筒内壁延伸至内导流筒底部边缘，所述钩尾固定在内导流筒的上部，所述钩头包括悬挂部和支撑部，所述悬挂部与钩臂相接，所述支撑部托住外导流筒的下部。

进一步地，所述悬挂部与支撑部连接处为半径为5mm的圆角。

进一步地，所述悬挂部垂直于所述支撑部。

进一步地，所述钩臂与钩尾连接处为半径为30mm的圆角。

进一步地，所述钩尾通过固定销固定在内导流筒的上部。

进一步地，所述钩尾上设有固定所述固定销的孔，所述孔的直径为5mm。

进一步地，所述吊钩的宽度为15mm，厚度为1.5mm。

进一步地，所述吊钩的材质为钼。

进一步地，所述吊钩为三个，且均匀分布在内导流筒上。

本实用新型的有益效果是：

（1）本实用新型提供的单晶炉热场导流筒保护装置，包括安装在内导流筒上的吊钩，并且每个吊钩的钩尾固定在内导流筒上，钩头托住外导流筒的下沿，这样会对外导流筒施加一个向上的力，可以避免外导流筒掉落事故，从而提高导流筒的使用寿命，而采用三个吊钩均匀分布，可以更全面地、更好地保护导流筒。

（2）外导流筒在使用过程中由于接近高温区，固其寿命远远小于内导流筒的寿命，当外导流筒断裂后，本实用新型还可以悬挂住外导流筒断裂后的碎片，防止碎片落入导流筒下方的装满硅料的石英锅内，从而避免硅料被污染。

（3）本实用新型的设计合理，操作简单、实用性强。

附图说明

图1为现有技术中外导流筒和内导流筒的连接示意图；

图2为本实用新型提供的吊钩的示意图；

图3为本实用新型提供的吊钩的钩尾的俯视图；

图4为本实用新型的一实施例示意图。

其中，1外导流筒、2内导流筒、3吊钩、31钩头、32钩尾、33钩臂、311悬挂部、312支撑部、321孔、4固定销、5支撑环。

具体实施方式

为了使本实用新型的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及实施例，对本实用新型进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本实用新型，并不用于限定本实用新型。

本实施例提供一种单晶炉热场导流保护装置，该保护装置包括一个或多个完全一致的吊钩3。如图2所示，所述吊钩3为一体式设置，依次设有钩头31、钩臂33和钩尾32；所述钩头31包括与所述钩尾32相接的悬挂部311和用于托住外导流筒1下部的支撑部312，所述悬挂部311与支撑部312的连接处为半径为5mm的圆角，并且所述悬挂部311垂直于所述支撑部312；所述钩臂33与钩尾32的连接处为半径为30mm的圆角；所述钩臂33的长度优选为410mm，所述吊钩1的宽度优选为15mm，厚度优选为1.5mm。