[实用新型]一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置有效
| 申请号： | 201320339907.1 | 申请日： | 2013-06-14 |
| 公开（公告）号： | CN203336946U | 公开（公告）日： | 2013-12-11 |
| 发明（设计）人： | 韩庆辉;范玉红;刘巍;范靖;曹绍文 | 申请（专利权）人： | 阳光硅峰电子科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B25/08 | 分类号： | F26B25/08 |
| 代理公司： | 河北东尚律师事务所 13124 | 代理人： | 王文庆 |
| 地址： | 065201 河北省廊坊市三*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 应用于 单晶硅 生产 领域 烤箱 专用 隔断 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置，其特征在于：包括由上隔板、下隔板和立柱构成的框架结构，所述的上隔板和下隔板上分别设置有通孔；所述的立柱为多个，立柱的上端与上隔板相固定，立柱的下端与下隔板相固定。
2.根据权利要求1所述的一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置，其特征在于：所述的上隔板和下隔板由四方形的边框和并排设置在四方形的边框内的多个支撑板构成，支撑板的两端固定在四方形的边框上，多个支撑板之间留有间隙。
3.根据权利要求2所述的一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置，其特征在于：所述的立柱为四个，分别固定于上隔板和下隔板的四方形边框的四个角。
4.根据权利要求2所述的一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置，其特征在于：所述的支撑板为角铁。
5.根据权利要求1所述的一种应用于单晶硅片生产领域的烤箱专用隔断装置，其特征在于：所述的立柱为三个、六个或八个。
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