[实用新型]晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统

权利要求书

1.一种晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统，其对至少一容置晶圆或光罩的密封式载具进行循环充气，其特征在于，该系统包含有：

至少一充气模组，该充气模组上分设有至少一进气阀件，且该充气模组上另分设有至少一排气阀件；

一提供洁净的惰性气体的供气模组，该供气模组利用一进气管路及至少一连接所述充气模组的进气歧管形成一进气回路，其中该进气歧管连接充气模组的进气阀件，又该对应各充气模组的进气歧管上分别串设有一控制流量的流量调整阀及一检知流量气压的压力流量计；

一供回收废气的排气模组，该排气模组利用一排气导管及至少一连接所述充气模组的排气歧管形成一排气回路，其中该进气歧管连接充气模组的进气阀件；

一处理模组，该处理模组分别与供气模组的流量调整阀及压力流量计连接，接收其检知信号与资料，且处理模组连接有一操控流量调整阀的人机接口，且处理模组并连接有一显示压力流量计数据的显示单元；

该载具具有对应充气模组进气阀件与排气阀件的进气阀件与出气阀件，组构成一使充气模组对设置于其上的载具进行循环充气的晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统。

2.依权利要求1所述的晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统，其特征在于，该充气模组表面设有多个供检知载具是否就充气位置的定位感测件，该定位感测件连接至处理模组。

3.依权利要求1所述的晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统，其特征在于，该充气模组上分设有一无线射频识别系统的无线射频读取元件，且无线射频读取元件连接至处理模组，而载具上设有对应的无线射频标签。

4.依权利要求1所述的晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统，其特征在于，该供气模组于进气管路上设有一可控制流量与压力的主流量控制阀，且主流量控制阀连接至处理模组。

5.依权利要求1所述的晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统，其特征在于，该排气模组于排气歧管上分别设有一供检知排气流量的检知元件，该检知元件连接至处理模组。

6.依权利要求1所述的晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统，其特征在于，该处理模组连接一供工作人员于远端进行系统监控的远端电脑。

7.依权利要求1所述的晶圆/光罩密封式载具的充气净化系统，其特征在于，该载具为晶圆传送盒、晶圆运输盒或光罩传送盒。

8.一种充气净化系统，气体连接至一晶圆/光罩密封式载具，其特征在于，该系统包含有：

一充气模组，气体连接至该晶圆/光罩密封式载具；

一提供一惰性气体予该充气模组的供气模组，该供气模组气体连接至该充气模组；及

一控制流入该充气模组的该惰性气体的流量及/或压力的处理模组，该处理模组电性连接至该供气模组。

9.依权利要求8所述的充气净化系统，其特征在于，该供气模组具有一控制流量的流量调整阀及一检知流量气压的压力流量计，分别电性连接至该处理模组。