[实用新型]单片集成高隔离度声表面波宽带滤波器组

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种声表面波滤波器组，尤其是单片集成高隔离度声表面波宽带滤波器组。

背景技术

在相关的应用设备和系统中，声表面波滤波器的作用是允许某一频带的电信号通过而抑制其它频率的电信号，其具体工作原理是由制作在压电基片上的输入叉指换能器经逆压电效应将电信号转换成声信号，声信号沿基片表面定向传播，再由输出叉指换能器将接受到的声信号经压电效应转换成电信号输出，在两次转换中实现对电信号的滤波功能。

声表面波滤波器组由多个声表面波滤波器组成，配以外匹配网络和开关电路，可以实现信号的一路或多路输入、多路或一路输出，输出信号按频率分路，广泛应用于频率合成、信号识别、跳频通讯等军用或民用无线通信领域。

现有技术和应用中的声表面波宽带滤波器组采用分立式封装方法，即每个滤波器分别置于一个独立的封装体内，由此带来的不足之处是滤波器组总体积较大，组装在应用系统中时互连线长且复杂，各信道间信号耦合严重，隔离度低。且现有声表面波宽带滤波器组由于其换能器结构设计的不完善，具有较高的阻带电平和插入损耗。

实用新型内容

本实用新型的目的是为克服目前声表面波宽带滤波器组插入损耗大、体积大、组内各滤波器互连路径长而复杂及各信道间信号耦合严重的缺点。

为实现上述目的，本实用新型采用的技术方案如下：

提供一种单片集成高隔离度声表面波宽带滤波器组，包括钽酸锂压电单晶基片和其上的两级级联纵向耦合谐振声表面波滤波器金属图形结构，还在所述钽酸锂压电单晶基片上并列集成的多个声表面波宽带滤波器，每个声表面波宽带滤波器包括两个级联的中心叉指换能器，分列于中心叉指换能器两侧的四个副叉指换能器，分列于四个副叉指换能器外侧构成分布式谐振腔的四个反射指条阵列，一个输入信号电极、一个输出信号电极和两个接地的地电极，相邻声表面波宽带滤波器间设有接地的且与地电极连接的金属隔离电极。 

所述中心叉指换能器按正交优化的加权函数进行抽指加权。

所述金属隔离电极为制作在所述钽酸锂压电单晶基片表面，且与所述声表面波宽带滤波器结构同质的厚膜金属电极。

本实用新型在单一压电基片上集成制作多个声表面波宽带滤波器，体积小、结构紧凑，可实现较多的滤波信道数；采用接地的金属厚膜隔离电极，减小声信号和电信号在相邻信道间的耦合，隔离度高，抗干扰能力强，采用与声表面波滤波器工艺兼容的物理淀积和光刻技术制作，工艺兼容性好；采用两级级联纵向耦合谐振滤波器结构且中心叉指换能器采用正交优化的加权函数进行抽指加权，阻带抑制高，插入损耗小。

附图说明

图1是本实用新型结构示意图；

图2是图1中声表面波宽带滤波器的结构示意图。

图中：1、钽酸锂压电单晶基片，2、声表面波宽带滤波器，3、金属隔离电极，21、中心叉指换能器，22、副叉指换能器，23、反射指条阵列，24、信号电极，25、地电极。

具体实施方式

下面结合附图对本实用新型作进一步说明：

图1是本实用新型结构示意图，包括Y42°-X钽酸锂压电单晶基片1，并列排布于钽酸锂压电单晶基片1表面的4只声表面波宽带滤波器2，设置在相邻声表面波宽带滤波器2之间且接地的金属隔离电极3。

图2是声表面波宽带滤波器的结构示意图，声表面波宽带滤波器2由两级纵向耦合谐振滤波器级联而成，每级由中心叉指换能器21，分列于中心叉指换能器21两侧的两个副叉指换能器22，分列于两个副叉指换能器22外侧构成分布式耦合谐振腔的反射指条阵列23，两个信号电极24和两个地电极25组成，中心叉指换能器21采用正交优化的加权函数进行抽指加权，等效指对数为29对，两个副叉指换能器22的指对数均为32对。

声表面波宽带滤波器2的金属图形结构由含0.5%铜的磁控溅射铝膜制成，金属膜厚度为3800 ?，金属隔离电极3为厚膜金属电极，由含0.5%铜的磁控溅射铝膜制成，金属膜厚度为5600?。