[实用新型]双加热器的多晶硅铸锭炉加热系统有效
申请号: | 201320346792.9 | 申请日: | 2013-06-18 |
公开(公告)号: | CN203320177U | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 沈永华;黄列群;潘东杰;夏小江;高强 | 申请(专利权)人: | 浙江省机电设计研究院有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B28/06;C30B29/06 |
代理公司: | 杭州天欣专利事务所 33209 | 代理人: | 陈琳 |
地址: | 310002 浙*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 加热器 多晶 铸锭 加热 系统 | ||
1.一种双加热器的多晶硅铸锭炉加热系统,其特征在于:包括上、下加热器,所述的两个加热器上下排列,两个加热器在电路上单独控制,上加热器包括上顶面和上侧面加热器,下加热器仅为下侧面加热器。
2.根据权利要求1所述的双加热器的多晶硅铸锭炉加热系统,其特征在于:所述的上加热器与下加热器之间的间隔为10~20mm。
3.根据权利要求1所述的双加热器的多晶硅铸锭炉加热系统,其特征在于:所述的上、下加热器横截面大小一致,均为正方形,其内边长为860~890mm,厚度为18~30mm。
4.根据权利要求1所述的双加热器的多晶硅铸锭炉加热系统,其特征在于:所述的上、下加热器的总高度为450~600mm,其中下加热器的高度为100~300mm。
5.根据权利要求1所述的双加热器的多晶硅铸锭炉加热系统,其特征在于:所述的上加热器与下加热器均为石墨材质。
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