[实用新型]超声作用下的硬脆材料研磨装置有效
| 申请号： | 201320347103.6 | 申请日： | 2013-06-17 |
| 公开（公告）号： | CN203380706U | 公开（公告）日： | 2014-01-08 |
| 发明（设计）人： | 李淑娟;崔丹;李言;胡海明;刘永;赵智渊 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | B24B1/04 | 分类号： | B24B1/04;B24B37/10 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 李娜 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 超声 作用 材料 研磨 装置 | ||
1.超声作用下的硬脆材料研磨装置，其特征在于：包括研磨盘（9）和载物盘（8），所述载物盘（8）位于研磨盘（9）的上面，晶片设置在载物盘（8）与研磨盘（9）之间，所述载物盘（8）与导轮电机（5）、滑台（4）及超声波发生器（6）连接，所述超声波发生器（6）产生的超声频振动作用于载物盘（8）上，所述载物盘（8）在导轮电机（5）带动下相对于研磨盘（9）旋转，同时在所述滑台（4）带动下作往复运动。
2.如权利要求1所述的超声作用下的硬脆材料研磨装置，其特征在于：所述超声波发生器（6）通过导波杆与所述研磨盘（9）接触。
3.如权利要求1或2所述的超声作用下的硬脆材料研磨装置，其特征在于：所述载物盘（8）外壁设有主动导轮（7-1）和被动导轮（7-2），所述主动导轮（7-1）和被动导轮（7-2）设置在导轮支架上且通过导轮支架与所述滑台（4）连接，所述载物盘（8）通过主动导轮（7-1）与导轮电机（5）连接，所述主动导轮（7-1）在导轮电机（5）作用下带动载物盘（8）旋转，所述载物盘（8）带动被动导轮（7-2）转动，所述主动导轮（7-1）和被动导轮（7-2）将载物盘（8）夹住，带动载物盘（8）随滑台（4）移动。
4.如权利要求3所述的超声作用下的硬脆材料研磨装置，其特征在于：所述滑台（4）与支架电机（1）连接。
5.如权利要求4所述的超声作用下的硬脆材料研磨装置，其特征在于：所述支架电机（1）与滑台（4）之间设有齿轮（2）和与其配合的齿条（3），所述支架电机（1）与支架电机控制器连接。
6.如权利要求5所述的超声作用下的硬脆材料研磨装置，其特征在于：所述研磨盘（9）通过研磨盘驱动齿轮（10）与研磨盘驱动电机（11）连接，所述研磨盘驱动电机（11）与研磨盘驱动电机控制器连接。
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