[实用新型]用于硅单晶切磨一体机的万向夹头有效
申请号: | 201320348243.5 | 申请日: | 2013-06-15 |
公开(公告)号: | CN203401394U | 公开(公告)日: | 2014-01-22 |
发明(设计)人: | 曹建伟;石刚;孙明;叶欣;陈明杰 | 申请(专利权)人: | 杭州慧翔电液技术开发有限公司;浙江晶盛机电股份有限公司 |
主分类号: | B24B41/06 | 分类号: | B24B41/06;B28D7/04 |
代理公司: | 杭州中成专利事务所有限公司 33212 | 代理人: | 周世骏 |
地址: | 312300 浙江省杭州市西湖区*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 用于 硅单晶切磨 一体机 万向 夹头 | ||
1.用于硅单晶切磨一体机的万向夹头,包括用于与待加工单晶硅棒料端面接触的非金属防滑垫;其特征在于,万向夹头的主体由夹头动块和夹头定块组成类似推力关节轴承的结构,防水用的不锈钢波纹管连接夹头动块和夹头定块的外侧;
所述类似推力关节轴承的结构是指:夹头定块的内球面与夹头动块的外球面紧密接触;夹头动块的外侧设沉孔,其底部贯设通孔;沉孔中装有弹簧、预紧弹簧芯轴和预紧弹簧盖板,并通过预紧销钉将预紧弹簧芯轴、弹簧和夹头动块固定于夹头定块上;弹簧套设在预紧弹簧芯轴外侧,预紧弹簧盖板位于预紧弹簧芯轴的端部。
2.根据权利要求1所述的万向夹头,其特征在于,所述夹头定块的内球面与夹头动块的外球面仅在靠近夹头动块和夹头定块的外缘处设接触面,其余部分为垂直于轴线的切面。
3.根据权利要求1或2所述的万向夹头,其特征在于,所述非金属防滑垫设于夹头动块的外侧端面上,夹头定块的外侧端面用于与工作台的主动轴或从动轴接触。
4.根据权利要求1或2所述的万向夹头,其特征在于,所述非金属防滑垫设于夹头定块的外侧端面上,夹头动块的外侧端面用于与工作台的主动轴或从动轴接触。
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