[实用新型]一种基于微机电干涉平台的微型光谱仪

权利要求书

1.一种基于微机电干涉平台的微型光谱仪，其特征在于：包括光路系统和电路系统； 

所述光路系统包括光源（1）、两个准直透镜（2，4）、样品池（3）、二向色镜（5）、分光镜（8）、全反射镜（7）、微机电干涉平台（33）、二向色镜（17）、滤光片（16）及其两个探测器（14，15）； 

光源（1）发出的参考光经过准直透镜（2）的准直后进入样品池（3），使样品池（3）受激发发出样品光，样品光经过准直透镜（4）的收集后和参考光一同进入二向色镜（5），被分为两路光，一路经过全反射镜（7）入射到分光镜（8）上，分光镜（8）将其反射到微机电干涉平台（33）第一动镜（10）上，反射回的光经过分光镜（8）入射到四象限探测器（9）上；一路经过微机电干涉平台（33）的干涉作用后变为干涉光，二向色镜（17）将干涉光分成样品光和参考光两束单独的干涉光；两个探测器（14，15）分别用于采集干涉样品光与干涉参考光； 

所述电路系统包括数据处理模块（21），用于光的检测、核心算法及光谱数据的处理。 

2.根据权利要求1所述的基于微机电干涉平台的微型光谱仪，其特征在于：所述微机电干涉平台（33）包括第一微镜（10）、第二微镜（11）和立方棱镜（6）的固定槽，所述第一微镜（10）和第二微镜（11）既可以作为固定镜，也可作为动镜用于位相调制。 

3.根据权利要求1所述的基于微机电干涉平台的微型光谱仪，其特征在于：所述第一微镜（10）和第二微镜（11）为电热式垂直大位移MEMS微镜。 

4.根据权利要求1所述的基于微机电干涉平台的微型光谱仪，其特征在于：所述电路系统还包括四象限探测器（9），用于纠正微机电干涉平台的动镜偏转。 

5.根据权利要求1所述的基于微机电干涉平台的微型光谱仪，其特征在于： 所述电路系统还包括干涉光光电转换模块（18），用于光电探测器采集到的干涉参考光和干涉样品光的光电转换和前期预处理。 

6.根据权利要求5所述的基于微机电干涉平台的微型光谱仪，其特征在于： 

所述电路系统还包括模数转换模块（20）和数模转换模块（24），模数转换模块（20）用于将干涉光转换的电信号和四象限探测器（9）输出的纠正微镜偏转的信号，采集到数据处理模块（21）中进行处理； 

数模转换模块（24），用于将控制微机电干涉平台的数字信号模拟化。 

信号整形模块（25），用于数模转换后的信号滤波及放大处理。 

7.根据权利要求1所述的基于微机电干涉平台的微型光谱仪，其特征在于：所述电路系统还包括光谱显示器（29），用于显示未知样品的光谱图。 

8.根据权利要求1所述的基于微机电干涉平台的微型光谱仪，其特征在于：所述电路系统还包括安全保护模块（23），用于保护上电瞬间高电压对微机电干涉平台的冲击。 

9.根据权利要求1所述的基于微机电干涉平台的微型光谱仪，其特征在于：所述电路系统还包括电源模块（22），用于为整个系统进行网络式供电。 

10.根据权利要求1所述的基于微机电干涉平台的微型光谱仪，其特征在于：还包括机械底座，机械底座包括前端器件固定模块（30）、后端器件固定模块（31）和整机外壳（32）；前端器件固定模块（30）用于固定光路中的准直透镜、样品池（3）及光源（1）；后端器件固定模块（31）用于微干涉平台及光电转换器件固定，同时用于反馈模块和干涉模块的遮光处理；外壳（32）用于保护内部结构，防震和防止外部杂光进入系统内部产生干扰。