[实用新型]动压浮离抛光盘动压浮离位置精密调整机构有效
申请号: | 201320352834.X | 申请日: | 2013-06-18 |
公开(公告)号: | CN203317206U | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 张利;尹林志;文东辉;金明生;王扬渝 | 申请(专利权)人: | 浙江工业大学 |
主分类号: | B24B37/34 | 分类号: | B24B37/34 |
代理公司: | 杭州斯可睿专利事务所有限公司 33241 | 代理人: | 王利强 |
地址: | 310014 浙江省*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 动压浮离 抛光 盘动压浮离 位置 精密 调整 机构 | ||
1.一种动压浮离抛光盘动压浮离位置精密调整机构,所述抛光盘与主轴下端连接,其特征在于:所述调整机构包括机架、微动升降器、L压块、限位轴套和弹簧,电机轴穿过所述L压块的通孔,所述L压块与推力球轴承的上部抵触,所述推力球轴承套装在所述电机轴外,且所述推力球轴承下部安装在所述限位轴套的内壁,所述电机轴的下部位于所述限位轴套内,所述电机轴与所述限位轴套通过键可上下移动地连接,所述限位轴套的下部位于花键轴内,所述限位轴套与所述花键轴通过键可上下移动地连接,所述主轴上端安装在所述花键轴内,所述花键轴内套装弹簧,所述弹簧的上端顶在所述限位轴套的下端,所述弹簧的下端顶在所述主轴上;所述L压块与所述微动升降器的动作端连接,所述微动升降器、花键轴均安装在机架上。
2.如权利要求1所述的动压浮离抛光盘动压浮离位置精密调整机构,其特征在于:所述花键轴内壁设有台阶,所述主轴上端与所述台阶持平,所述主轴上端与锁紧螺母连接,所述锁紧螺母与所述台阶之间设有止动垫圈。
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