[实用新型]光掩模清洗机有效
| 申请号： | 201320355807.8 | 申请日： | 2013-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN203484365U | 公开（公告）日： | 2014-03-19 |
| 发明（设计）人： | 黄峰;辛海峰 | 申请（专利权）人： | 无锡华润微电子有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/02 | 分类号： | B08B3/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 常亮 |
| 地址： | 214061*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 光掩模 清洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种光掩模清洗机，所述光掩模清洗机包括去离子水喷射单元、气体干燥单元、旋转马达，其特征在于，所述光掩模清洗机还包括与去离子水喷射单元、气体干燥单元和旋转马达相连的中央控制器和执行控制模块。
2.根据权利要求1所述的光掩模清洗机，其特征在于，所述中央控制器包括：
控制芯片，用于控制清洗流程时长；
DIP开关，用于控制清洗进程；
电源，与控制芯片和DIP开关相连，用于为中央控制器供电；
以及若干第一端口，用于和中央控制器外部进行连接。
3.根据权利要求2所述的光掩模清洗机，其特征在于，所述第一端口包括RS232C端口和以太网端口中的一种或多种。
4.根据权利要求1所述的光掩模清洗机，其特征在于，所述执行控制模块包括：
与去离子水喷射单元相连的去离子水喷射控制单元；
与气体干燥单元相连的气体干燥控制单元；
与旋转马达相连的旋转马达控制单元；
以及若干第二端口。
5.根据权利要求4所述的光掩模清洗机，其特征在于，所述第二端口包括RS232C端口和以太网端口中的一种或多种。
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