[实用新型]一种装料高度测量仪

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种装料高度测量仪，属于单晶硅棒生产的技术领域。

背景技术

在单晶硅棒生产过程中，为了提高单晶炉的设备利用率，都会采用离线装料法装料。即在高纯工作室内，戴上清洁处理过的薄膜手套，将清洁处理好的定量多晶硅，放入洁净的坩埚内，坩埚内的多晶硅堆成馒头形。装料完成后通过吊料车将硅料吊入单晶炉内。

目前在拉晶过程中一般采用高熔料埚位熔料，目的是使石英坩埚的底部尽量靠近加热器的高温区域，防止因硅料的二次再结晶及底部翻料而引起事故的发生。但是提高熔料埚位会受到硅料顶端导流筒的安全距离限制（如附图2所示），所以不能无限制的提升熔料埚位。如果埚位过高，超过它们之间的安全距离甚至相接触，很可能会出现滚料，出现打火，造成紧急停炉、石墨件损坏等事故的发生，影响到车间的成本。这样，在提高埚位的同时，测算导流筒与硅料顶端的距离非常重要，保证无安全隐患。所以，测量装料高度是单晶硅棒生产过程中重要的一项内容。

目前测量装料高度使用传统的测量尺测量，如附图4所示。具体操作方式：两只手各拿一个测量尺，成垂直交叉，横向测量尺与硅料顶端平齐，通过纵向测量尺观察装料高度。这种测量方式存在如下缺陷：首先，在测量装料高度时需使用两个测量尺，两个测量尺垂直交叉观察测量数值，但是在实际应用过程中无法做到两个测量尺垂直成90度，会存在一定的误差；其次，一人使用两个测量尺的同时还需观察测量数值，不易操作。

实用新型内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种装料高度测量仪，该测量仪不仅使用方便，而且测量精度很高，保证了单晶炉的安全运行。

为解决上述技术问题，本实用新型所采取的技术方案是：一种装料高度测量仪，包括基座，其特征在于所述基座上设置有竖直放置的支撑杆，所述支撑杆上端设有竖直放置的刻度尺，所述刻度尺的尺身与水平放置的定位尺连接，刻度尺与定位尺相互垂直。

对上述结构作进一步说明，所述定位尺的端部套接于刻度尺的尺身上，定位尺的一端设有锁紧螺丝，锁紧螺丝把定位尺和刻度尺卡紧。本实用新型中的锁紧螺丝与定位尺的端部螺纹连接，测量时，上下滑动定位尺，当至多晶硅顶点高度时，可以把锁紧螺丝拧紧，使定位尺和刻度尺之间固定，由于在设计是保证定位尺端部的滑道与刻度尺侧壁重合，因此固定后两者保持垂直，这样方便操作人员度数，而且保证测量的精度高。

对上述结构作进一步说明，所述支撑杆为空心结构，刻度尺的下端置于支撑杆内部，并在支撑杆上设有刻度尺沿其内壁上下滑动的驱动结构，所述驱动结构与刻度尺下端连接。由于每个离线装料车上的石英坩埚的底部位置并非保持同高，因此需要对刻度尺的零刻度位置进行调整，使零刻度线与石英坩埚的上沿重合，因此设置了驱动结构，可方便调整刻度尺的高度。

对上述结构作进一步说明，所述驱动结构包括转动手柄以及与转动手柄连接的涡轮蜗杆组件。由于每个在离线装料车上的石英坩埚位置相差不大，所以测量尺的“0”位只需要微调，故设计成涡轮涡杆连接最佳，通过转动手柄带动涡杆使刻度尺沿空心的支撑杆上下垂直移动，另外也可选用齿轮齿条结构驱动。

对上述结构作进一步说明，所述刻度尺的零刻度线在其下部、支撑杆上端口的上方，在零刻度线上水平固定有零刻度指示尺。本实用新型的零刻度指示尺是延长零刻度线，目的是保证“0”位与石英坩埚上沿在同一水平线上，起到测量高度的归零作用，方便观察。

采用上述技术方案所产生的有益效果在于：本实用新型解决了传统测量尺测量方式中测量操作难、误差大的难题，通过上下移动的定位尺和刻度尺，保证了测量的灵活性，利用零刻度指示尺可以使测量高度快速归零，提高测量的准确性，因此总体上，本实用新型不仅使用方便，而且测量精度很高，可以节省装料过程的时间，保证了单晶炉的安全运行。

附图说明

下面结合附图和具体实施方式对本实用新型作进一步详细的说明。

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是单晶炉中硅料与导流筒安装位置示意图，其中d为安全距离；

图3本实用新型在使用时的结构状态图；

图4是现有的用于高度测量装置；

其中：1、锁紧螺丝，2、定位尺，3、刻度尺，4、转动手柄，5、蜗轮蜗杆组件，6、支撑杆，7、基座，8、炉盖，9、导流筒，10、石英坩埚，11、炉筒，12、测量尺，13、多晶硅。

具体实施方式