[实用新型]一种溢流水洗槽

说明书

技术领域

本实用新型涉及光伏生产设备领域，具体是一种溢流水洗槽。

背景技术

水刀是指利用超高压技术把普通的自来水加压到250-400Mpa压力，然后再通过内孔直径约0.15-0.35mm的宝石喷嘴喷射形成速度约为800-1000m/s的高速射流，俗称其为水箭。如果再在水箭中加入适量的磨料则几乎可以用来切割所有的软硬材料。而且调整水射流的压力和流量，还可以用其清洗各种物体，如除胶、除漆、除锈等。

在硅片生产中，制绒和刻蚀是两道必不可少的工序，而在这两道工序结束后，为了进行下一步操作，往往需要对硅片进行清洗。此时的清洗过程为了充分洗净硅片表面残留药水或反应产物，需要使用水泵把槽内的水抽出，通过压力将水打到水刀里，再使用水刀把水喷洒到硅片上。传统设备的水洗槽，硅片进入槽体后，由槽体上方的喷淋水刀对硅片进行喷淋水洗，其中用的槽体均为同一容器中的药液，这种做法容易造成药液交叉污染。

目前还没有一种可以将清洗设备进行分区，有效隔离药液污染，还不易导致清洗设备内部酸气扩散的溢流水洗槽。

发明内容

本实用新型针对以上技术问题，提供一种可以将清洗设备进行分区，有效隔离药液污染，还不易导致清洗设备内部酸气扩散的溢流水洗槽。

本实用新型通过以下技术方案来实现。

一种溢流水洗槽，包括槽体、隔离板、抽风机、水泵抽水管，其特征在于隔离板将槽体分隔成多段，隔离板上设置有溢流孔，槽体上的隔离板位置设置有抽风机，水泵抽水管入口端朝下设置在槽体底部。隔离板上的溢流孔位置较相邻的后一段隔离板上的溢流孔位置低。

使用本实用新型的溢流水洗槽进行清洗后，由于槽体采用溢流的方式，保证了用水量与传统设备相当，同时药水从后向前溢流，既延长水洗时间，又保证了后端药水的洁净，而且在前槽与本槽连接处通过设置抽风，有效防止了前槽酸气扩散，槽体内水由后段向前段溢流，保证后段比前段的水质更佳。

本实用新型结构简单，使用方便。

附图说明

附图中，图1是本实用新型结构示意图，其中：

1-槽体，2-隔离板，3-抽风机，4-水泵抽水管。

具体实施例

下面结合附图对本实用新型作进一步说明。

一种溢流水洗槽，包括槽体1、隔离板2、抽风机3、水泵抽水管4，其特征在于隔离板2将槽体1分隔成多段，隔离板2上设置有溢流孔，槽体1上的隔离板2位置设置有抽风机3，水泵抽水管4入口端朝下设置在槽体1底部。隔离板2上的溢流孔位置较相邻的后一段隔离板2上的溢流孔位置低。

使用本实用新型的溢流水洗槽进行清洗后，由于槽体1采用溢流的方式，保证了用水量与传统设备相当，同时药水从后向前溢流，既延长水洗时间，又保证了后端药水的洁净，而且在前槽与本槽连接处通过设置抽风，有效防止了前槽酸气扩散，槽体1内水由后段向前段溢流，保证后段比前段的水质更佳。

本实用新型结构简单，使用方便。