[实用新型]扩散炉炉门

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种扩散炉炉门，属于太阳能电池扩散设备领域。

背景技术

兴起于上世纪八十年代的多晶硅太阳电池技术，经过进三十年的积累与改进，已成功将该技术应用于大规模多晶硅太阳电池生产中。全球光伏发电装机总量的突破，得益于诸如德国Centrotherm Photovoltaics、荷兰Tempress Systems等公司提供的卓越的管式扩散方案。这些适用于多晶硅片的管式扩散炉从控温方式、抽排风处理、软着陆等系统都进行了独特的设计，满足了多晶硅光伏电池大规模生产的需要。

目前广泛采用的软着陆全封闭扩散炉相对于开管扩散炉有诸多优势：节省扩散杂质源、工艺气体用量，降低热损耗，扩散均匀性也显著提高。闭管扩散炉的原理是通过高温下炉门密封装置、尾气收集装置、超长恒温区加热炉体设计制造以及温度的测量与控制技术，确保高产能、扩散均匀性的前提下减少液态源、工艺气体用量，从而降低偏磷酸生成量及废气进行定向回收，集中处理。对于该扩散炉来讲，炉门的密封显得尤为关键。目前使用的炉门通常是由石英炉门加保温棉加金属外壳构成的，通过金属外壳上的金属连接轴来控制炉门的开关。参见图1，目前广泛采用扩散炉炉门包括石英炉门1、金属外壳2以及支撑底座3，支撑底座上下设置两个螺丝4用来调节炉门的俯仰角度，该扩散炉炉门具有以下不足：

1、炉门角度发生轻微变化即可导致炉门漏气，气密性较差影响工艺。

2、炉门的角度依靠支撑底座上下两个螺丝来调整俯仰角度，且调整过程较复杂。

3、由于在正常使用时炉门频繁开关及自身重量的原因，导致螺丝2较易松动，一个月就需中止生产，检查、调整炉门一次。

4、现有炉门仅能调整俯仰角度，左右角度无法调整。

因此，寻求一种气密性较好，且可进行俯仰、左右各个方向角度自动调整，无需频繁检查的扩散炉炉门尤为重要。

发明内容

本实用新型的目的在于克服上述不足，提供一种气密性较好，且可进行俯仰、左右各个方向角度自动调整，无需频繁检查的扩散炉炉门。

本实用新型的目的是这样实现的：

一种扩散炉炉门，它包括石英炉门以及金属外壳，所述石英炉门设置于金属外壳的一侧中部，其特征是所述金属外壳的另一侧中部设置有波纹管。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：

本实用新型当炉门关闭时，波纹管受到机械推力发生弹性形变，推动金属外壳、石英炉门关闭，由于波纹管具有弹性，炉门的角度可根据受到石英管的反作用力自行调整，达到炉门与石英炉门接触面无角度紧密结合的效果，从而保证了炉门的密封性。该扩散炉炉门具有气密性较好，且可进行俯仰、左右各个方向角度自动调整，无需频繁检查的优点，从而减少调整炉门次数，提高产量。

附图说明

图1为传统扩散炉炉门的结构示意图。

图2为本实用新型扩散炉炉门的结构示意图。

其中：

石英炉门1

金属外壳2

支撑底座3

螺丝4

波纹管5。

具体实施方式

参见图2，本实用新型涉及的一种扩散炉炉门，它包括石英炉门1以及金属外壳2，所述石英炉门1设置于金属外壳2的一侧中部，所述金属外壳2的另一侧中部设置有波纹管5。