[实用新型]主动式白光波前测试装置有效
申请号: | 201320377351.5 | 申请日: | 2013-06-27 |
公开(公告)号: | CN203364981U | 公开(公告)日: | 2013-12-25 |
发明(设计)人: | 段亚轩;陈永权;赵建科;刘峰;田留德;李坤 | 申请(专利权)人: | 中国科学院西安光学精密机械研究所 |
主分类号: | G01J9/00 | 分类号: | G01J9/00;G01B11/24;G01M11/02 |
代理公司: | 西安智邦专利商标代理有限公司 61211 | 代理人: | 杨引雪 |
地址: | 710119 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 主动 白光 测试 装置 | ||
1.一种主动式白光波前测试装置,其特征在于:包括白光光源系统、分光镜、微透镜阵列、CCD探测器、计算机、校准镜、消色差标准镜头、被测光学系统、辅助标准平面镜;
所述分光镜设置在白光光源系统输出准直光的出射光路上;所述分光镜将白光光源系统的出射光分为反射光及透射光;被测光学系统设置在反射光的光路上;所述校准镜和消色差标准镜头设置在分光镜与被测光学系统之间的光路上;所述辅助标准平面镜设置在反射光经被测光学系统后的出射光路上;所述微透镜阵列设置在反射光经消色差标准镜头透射和被测光学系统发射后再经辅助标准平面镜反射所形成的透射光的光路上;所述CCD探测器设置在经微透镜阵列后的出射光的光路上;所述计算机与CCD探测器相连。
2.根据权利要求1所述的主动式白光波前测试装置,其特征在于:所述白光光源系统包括白光光源以及依次设置在白光光源出射光路上的聚光镜、小孔光阑、准直物镜。
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