[实用新型]一种紫外线固化装置有效
申请号: | 201320378749.0 | 申请日: | 2013-06-28 |
公开(公告)号: | CN203417836U | 公开(公告)日: | 2014-02-05 |
发明(设计)人: | 李玉军 | 申请(专利权)人: | 上海天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
主分类号: | B05D3/06 | 分类号: | B05D3/06 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 201201 上海*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 紫外线 固化 装置 | ||
1.一种紫外线固化装置,包括:
遮挡罩,用于在被遮挡物体上形成遮挡区域;
真空吸嘴,所述真空吸嘴设置于所述遮挡罩中,用于吸附被遮挡物体。
2.如权利要求1所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述遮挡罩的材料为高分子材料。
3.如权利要求1所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述遮挡罩的尺寸大于被遮挡物体的尺寸。
4.如权利要求1所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述遮挡罩对应所述真空吸嘴的位置具有一凹槽,所述凹槽的中心位置有一通孔,用于容纳所述真空吸嘴。
5.如权利要求4所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述凹槽为碗状。
6.如权利要求4所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述真空吸嘴还包括连接加强部,设置在远离所述凹槽的一侧。
7.如权利要求6所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述连接加强部为碗状。
8.如权利要求1所述的紫外线固化装置,其特征在于,还包括:
紫外光光源;
机械手臂,与所述遮挡装置连接,用于移动所述遮挡装置及被遮挡物体;
工作平台,用于支撑固定所述被遮挡物体。
9.如权利要求8所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述机械手臂内部设置有与所述真空吸嘴相连的真空管。
10.如权利要求8所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述工作平台上设有对位装置。
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