[实用新型]一种紫外线固化装置有效

专利信息
申请号: 201320378749.0 申请日: 2013-06-28
公开(公告)号: CN203417836U 公开(公告)日: 2014-02-05
发明(设计)人: 李玉军 申请(专利权)人: 上海天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司
主分类号: B05D3/06 分类号: B05D3/06
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 201201 上海*** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 紫外线 固化 装置
【权利要求书】:

1.一种紫外线固化装置,包括: 

遮挡罩,用于在被遮挡物体上形成遮挡区域; 

真空吸嘴,所述真空吸嘴设置于所述遮挡罩中,用于吸附被遮挡物体。 

2.如权利要求1所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述遮挡罩的材料为高分子材料。 

3.如权利要求1所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述遮挡罩的尺寸大于被遮挡物体的尺寸。 

4.如权利要求1所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述遮挡罩对应所述真空吸嘴的位置具有一凹槽,所述凹槽的中心位置有一通孔,用于容纳所述真空吸嘴。 

5.如权利要求4所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述凹槽为碗状。 

6.如权利要求4所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述真空吸嘴还包括连接加强部,设置在远离所述凹槽的一侧。 

7.如权利要求6所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述连接加强部为碗状。 

8.如权利要求1所述的紫外线固化装置,其特征在于,还包括: 

紫外光光源; 

机械手臂,与所述遮挡装置连接,用于移动所述遮挡装置及被遮挡物体; 

工作平台,用于支撑固定所述被遮挡物体。 

9.如权利要求8所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述机械手臂内部设置有与所述真空吸嘴相连的真空管。 

10.如权利要求8所述的紫外线固化装置,其特征在于:所述工作平台上设有对位装置。 

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