[实用新型]气体质量流量控制器的传感器

权利要求书

1.一种气体质量流量控制器的传感器，其特征在于，包括内部设有槽的外壳和设有两个通孔的传感器底座，传感管置于所述外壳的槽内且传感管的两端分别穿过所述传感器底座上的两个通孔，所述传感管与传感器底座之间用胶水粘接固定，两组传感丝绕在所述传感管的中间位置，所述外壳装在所述传感器底座上并用螺钉连接固定。

2.根据权利要求1所述的气体质量流量控制器的传感器，其特征在于，电缆线装在所述外壳内并用胶水粘接固定，所述两组传感丝与所述电缆线上的四个端子焊接固定。

3.根据权利要求2所述的气体质量流量控制器的传感器，其特征在于，所述外壳背面的孔内依次装有第一保温棉和堵块，所述堵块与外壳之间用胶水粘接固定。

4.根据权利要求3所述的气体质量流量控制器的传感器，其特征在于，所述外壳的正面依次设有第二保温棉和盖板，所述盖板与外壳之间用螺钉固定。

5.根据权利要求4所述的气体质量流量控制器的传感器，其特征在于，所述盖板与所述传感器底座之间用螺钉固定。