[实用新型]线锯机的断线接续治具

说明书

技术领域

本实用新型是关于一种线锯机的断线接续治具，尤其指一种适用于半导体材料切割技术的线锯机的断线接续治具。 

背景技术

硅片切割工艺始于由单晶硅或多晶硅材料制成的实心硅锭。常利用线锯将硅锭裁成方块，然后再切割成很薄的硅片。这些晶体硅片就被用作制造光伏电池的衬底。如今的线锯切割大多数是通过多线切割技术实现的。 

如图1所示，为公知线锯机的立体图，线锯机1主要以直径为110μm-140μm的单根切割线11缠绕在四导轮12上，这种导轮12开槽精细且槽距均匀，形成平行切割线的水平网状结构或切割线网13。而在切割线11起始及结束部分设有一入线轴14及一收线轴15，用以提供足够的张力及驱动力。强大的驱动力使整张网在约为每秒10米到20米的相对高速下运行。线锯机1所采用的浆料，一种由耐磨粒子加冷却液制成的切削液，例如:将碳化硅粉末加入石蜡油中，通过二浆料喷嘴16输送到运动中的切割线11上。切割线11将浆料传送到切割区。 

此切割区的设计包含上下二层工作台17、171，可同时进行切割动作，以增进工作效率。接着如图2所示，为公知线锯机切割半导体材料的立体图。将待切割的四硅锭18固定在上下工作台17、171上并且与切割线逆向作垂直运动。此一动作将硅锭18推过切割线网13，同时产生大量的硅块或硅片。 

接着，请参阅图3，为公知线锯机绕线配置的示意图。其线锯机2主要结构包括有：一线轴室21、一切割室22、一切割线23，线轴室21具有一新线轴211、一收线轴212、二张力控制装置241、242及六导引轮251、252、253、254、255、256，切割室22具有一入线导引轮221及一收线导引轮222，切割线23绕行于新线轴211、第一导引轮251、第二导引轮252、 第三导引轮253、入线导引轮221、收线导引轮222、第四导引轮254、第五导引轮255、第六导引轮256、及收线轴212以形成切割线网231。 

在多线锯切割系统中，切割运动基本上是一种快速的三体磨损过程，其特点在于使用了一种基于滚动及压入的切割机制。然而，在高速切割的过程中，势必会发生切割线网231中间断线的情况，这时基于成本与绕线时间上的考虑，一般来说并不会将整个线锯机2的切割线23重绕，而是藉由调整收线导引轮222至断线处并舍弃断线处一侧的切割线网231，因而减损了切割面积，造成了硅锭产能的损失。 

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种线锯机的断线接续治具，以能在切割线网中间断线的情况下，断线处经焊接后，接续并导引二分隔的切割线网，以节省成本同时达到维持产能的效用。 

为实现上述目的，本实用新型提供的线锯机的断线接续治具，线锯机包括有：一线轴室、一切割室及一切割线，该线轴室具有一新线轴及一收线轴，该切割室具有一入线导引轮及一收线导引轮，该切割线绕行于该新线轴、该入线导引轮、该收线导引轮及该收线轴以形成一切割线网，该断线接续治具用以在该切割线于切割一工件发生断线时重新建立该切割线网，包括有：一第一辅助导引轮装置、一第二辅助导引轮装置及一第三辅助导引轮装置，依前述辅助导引轮装置的次序导引该切割线，使该切割线绕行于该新线轴、该入线导引轮、该收线导引轮及该收线轴以形成该切割线网。 

上述每一导引轮装置可包括有：一固定座、一滑轨、一导引轮、一定位件及一张力调整件，滑轨固设于固定座，导引轮滑设于滑轨上，定位件用以定位导引轮于滑轨上，张力调整件固设于滑轨上并抵顶导引轮。藉由调整导引轮的定位及张力调整件的松紧程度，以改变切割网线的张力强度并导引切割线的移动路线。 

第一导引轮装置与该第三导引轮装置可固设于切割室。而第二导引轮装置可固设于线轴室。由此配置方式，能方便切割线的移动。 

新线轴与入线导引轮之间可固设有一张力控制装置，而收线导引轮与 收线轴之间亦可设有一张力控制装置，切割线可绕经二张力控制装置，用以控制该切割线于切割过程中维持一定的张力。另外，上述的工件，可为半导体材料或硅锭等其他不同材料。 

附图说明

图1为公知线锯机的立体图。 

图2为公知线锯机切割半导体材料的立体图。 

图3为公知线锯机绕线配置的示意图。 

图4为本实用新型线锯机的断线接续治具一较佳实施例的示意图。 

图5为本实用新型线锯机的断线接续治具一较佳实施例的导引轮装置的立体图。 

附图中主要组件符号说明：