[实用新型]一种硅片研磨液的搅拌装置有效
| 申请号： | 201320383897.1 | 申请日： | 2013-06-30 |
| 公开（公告）号： | CN203425741U | 公开（公告）日： | 2014-02-12 |
| 发明（设计）人： | 周建国;夏利荣 | 申请（专利权）人： | 常州市立威刀具有限公司 |
| 主分类号： | B01F7/18 | 分类号： | B01F7/18;B01F13/02 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 何学成 |
| 地址： | 213000 江苏省常*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 硅片 研磨 搅拌 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅片研磨液的搅拌装置，包括具有加液口、出液口的搅拌桶体，以及设置在搅拌桶体上对搅拌桶体内进行搅拌的搅拌机构，其特征在于：所述搅拌机构包括设置在搅拌桶体上的搅拌电机以及联结搅拌电机输出轴的搅拌主轴、设置在搅拌主轴上的多个搅拌叶片，所述每个搅拌叶片的侧壁均开设有凹槽。
2.根据权利要求1所述的一种硅片研磨液的搅拌装置，其特征在于：所述搅拌桶体上口端设有连接盖，所述搅拌电机固定设置在连接盖上。
3.根据权利要求1所述的一种硅片研磨液的搅拌装置，其特征在于：还包括向搅拌桶体内输送气流的输气装置，其包括气泵以及与气泵连接的输气管道，所述输气管道的输气口穿过搅拌桶体位于搅拌叶片的下方。
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