[实用新型]一种双悬臂梁式微机械加速度传感器有效
| 申请号： | 201320386159.2 | 申请日： | 2013-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN203324300U | 公开（公告）日： | 2013-12-04 |
| 发明（设计）人： | 孙远程;袁明权;张茜梅;王海青;武蕊;屈明山 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院电子工程研究所 |
| 主分类号： | G01P15/12 | 分类号： | G01P15/12 |
| 代理公司： | 中国工程物理研究院专利中心 51210 | 代理人： | 翟长明;韩志英 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 悬臂梁 式微 机械 加速度 传感器 | ||
1.一种双悬臂梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的传感器包括敏感芯片和下玻璃板（5）；其中，敏感芯片含有框架（1）、第一悬臂梁（21）、第二悬臂梁（22）、第一质量块（31）、第二质量块（32）、第一压敏电阻（41）、第二压敏电阻（42）、第三压敏电阻（43）、第四压敏电阻（44），其连接关系是，所述框架（1）内设置有两个相互独立的第一悬臂梁（21）和第二悬臂梁（22），第一悬臂梁（21）的一端与框架（1）相连，另一端与第一质量块（31）相连，第二悬臂梁（22）的一端与框架（1）相连，另一端与第二质量块（32）相连；第一悬臂梁（21）、第二悬臂梁（22）、第一质量块（31）、第二质量块（32）共同构成敏感芯片的可动部分；第一压敏电阻（41）、第二压敏电阻（42）设置在第一悬臂梁（21）上表面；第三压敏电阻（43）、第四压敏电阻（44）设置在第二悬臂梁（22）上表面，所述的敏感芯片与下玻璃板（5）通过键合连接。
2.根据权利要求l所述的双悬臂梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的敏感芯片中的第一悬臂梁（21）与第二悬臂梁（22）结构相同，第一质量块（31）与第二质量块（32）结构相同。
3.根据权利要求1 所述的双悬臂梁式微机械加速度传感器，其特征在于：所述的敏感芯片中的可动部分与下玻璃板（5）之间的距离为2μm～200μm。
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